您的位置： 首頁 > 產品中心 > 材料樣品檢測 > 探針臺 > KT-Z1604TZ高溫真空探針臺

高溫真空探針臺

簡要描述：高(gao)溫(wen)真(zhen)空(kong)探針臺KT-Z1604TZ，可單選高(gao)溫(wen)或低溫(wen)等相應組件，溫(wen)度可達到400℃。以便測量分析溫(wen)度變化時芯(xin)片性能(neng)參數(shu)的(de)變化。腔體內被測芯(xin)片在(zai)真(zhen)空(kong)環境中有效避(bi)免易受氧(yang)化半導體器件接觸空(kong)氣所帶來的(de)測試結(jie)果誤差(cha)。

產品(pin)型號：KT-Z1604TZ
廠商性質(zhi)：生產廠家
更新時間：2023-09-18
訪問量：834

產品咨詢聯系我們

產品目錄

PRODUCT CENTER

材料樣品檢測

氣體溫度控制儀半導體制冷臺鼓泡罐吉時利源表探針臺微型真空高低溫探針臺微型高低溫真空探針臺真空加熱腔微型真空探針冷臺微型真空探針熱臺真空探針臺查看全部產品

詳細介紹

品牌	鄭科探

高溫真空探針臺KT-Z1604TZ

真空探針(zhen)臺可實(shi)現高(gao)真空環(huan)境下的高(gao)溫及(ji)低(di)溫電學性能(neng)測量，真空腔一體成型(xing)，具有設(she)計合理，真空度穩(wen)定(ding)，溫(wen)控精度及(ji)機(ji)械精度高等(deng)特點；根(gen)據測試溫(wen)度范圍不同，可單(dan)選(xuan)高溫(wen)或低溫(wen)等(deng)相(xiang)應組(zu)件，溫(wen)度可達到400℃，低(di)溫部分(fen)采用液(ye)氮或液(ye)氦冷(leng)卻組件，溫度可低(di)至-196℃，；真空系統可選(xuan)機械(xie)泵或分子泵系統，真空度可達到10^-3Torr或(huo)10^-6Tor。

高低溫(wen)真空探針(zhen)臺(tai)應用(yong)：

可應用(yong)于低溫或(huo)高溫真(zhen)空環境(jing)下被測(ce)樣品(pin)的電學性(xing)能測(ce)試(shi)分析，如：半導體(ti)/微(wei)電子(zi)，電子(zi)，機(ji)電，物理，化學，材(cai)料，光(guang)電，納米，微(wei)機(ji)電/MEMS，生物芯片，航(hang)空航(hang)天(tian)等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試(shi)/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chan)制造領域。

高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數

真(zhen)空腔體(ti)
腔體材(cai)質	304不銹(xiu)鋼
上蓋開(kai)啟	鉸鏈側開
加(jia)熱臺材(cai)質	304不銹鋼(gang)
內腔(qiang)體尺寸	φ160x90mm
觀(guan)察(cha)窗(chuang)尺寸	Φ70mm
加(jia)熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間(jian)距	75mm
加(jia)熱臺溫度	﹣196~350℃
加熱臺(tai)溫控(kong)誤差	±1℃
真空度(du)	機械(xie)泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允(yun)許正壓	≤0.1MPa
真(zhen)空(kong)抽(chou)氣口	KF25真(zhen)空法蘭
氣體進氣口(kou)	3mm-6mm卡(ka)套接頭
電(dian)信號接(jie)頭	SMA轉BNC X 4
電學性能	絕(jue)緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
探針數(shu)量(liang)	4探針
探針材質(zhi)	鎢針
探針(zhen)尖	10μm
探(tan)針移動平臺
X軸(zhou)移(yi)動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸(zhou)移動行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精(jing)度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數	0.7-4.5倍
工作間(jian)距	90mm
相機	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像(xiang)接口	VGA
LED可調光(guang)源	有(you)
顯示屏	8寸(cun)
放大倍數	19-135倍(bei),視場范(fan)圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm