低溫真空探針臺是一(yi)款為晶片、器件和材料(liao)(liao)（薄膜、納(na)米、石墨(mo)烯、電(dian)(dian)子材料(liao)(liao)、超導材料(liao)(liao)、鐵電(dian)(dian)材料(liao)(liao)等）提供真空和低溫測(ce)試條件下進行非破壞性的(de)電(dian)(dian)學(xue)表征和測(ce)量(liang)(liang)(liang)平臺。可以對材料(liao)(liao)或器件進行電(dian)(dian)學(xue)特(te)性測(ce)量(liang)(liang)(liang)、光電(dian)(dian)特(te)性測(ce)量(liang)(liang)(liang)、參數測(ce)量(liang)(liang)(liang)、高(gao)阻測(ce)量(liang)(liang)(liang)、DC測(ce)量(liang)(liang)(liang)、RF測(ce)量(liang)(liang)(liang)和微波特(te)性測(ce)量(liang)(liang)(liang)，

    低溫真空探針臺廣泛應用(yong)于(yu)半導(dao)體工業（芯(xin)片、晶圓片、封裝(zhuang)器(qi)件）、MEMS、超導(dao)、電子學(xue)、物理學(xue)和材料學(xue)等(deng)領域。為(wei)了提高系(xi)(xi)統的(de)實用(yong)性，系(xi)(xi)統還可以提供3.2K的(de)溫度(du)擴(kuo)展選(xuan)件、振動隔離裝(zhuang)置、LN2杜(du)瓦(wa)、高放(fang)大倍數的(de)顯微鏡、分子泵機組、熱輻(fu)射(she)屏的(de)溫度(du)控制裝(zhuang)置、探(tan)針(zhen)臂的(de)光纖電纜、光學(xue)樣品架等(deng)選(xuan)件。

   KT-Z1604T探針(zhen)臺主要(yao)應用于傳感器(qi)，半導體，光電，集成電路(lu)以及封裝(zhuang)的測試。 廣泛應用于復(fu)雜、高速器(qi)件(jian)(jian)的精密電氣測量(liang)的研(yan)發(fa)，旨在確保(bao)質量(liang)及可靠性(xing)，并縮減研(yan)發(fa)時間和器(qi)件(jian)(jian)制造工藝的成本。

     該探針臺的(de)承載(zai)臺為(wei)60x60不銹鋼臺面，臺面可(ke)升溫到(dao)350℃。真空(kong)腔體設計有進氣口(kou)和抽真空(kong)接口(kou)。探針臂(bei)為(wei)X/Y/Z三(san)軸移動，三(san)個方向(xiang)均(jun)可(ke)在真空(kong)環(huan)境下(xia)精(jing)密移位調(diao)(diao)節(jie)，其中X方向(xiang)調(diao)(diao)節(jie)范(fan)(fan)圍(wei)：0－30mm；y方向(xiang)調(diao)(diao)節(jie)范(fan)(fan)圍(wei)：0－20mm；z方向(xiang)調(diao)(diao)節(jie)范(fan)(fan)圍(wei)：0－20mm；用(yong)戶可(ke)根據需(xu)要自行(xing)調(diao)(diao)節(jie)。使用(yong)時(shi)將需(xu)檢測的(de)器(qi)件固定在加熱臺上，再微(wei)調(diao)(diao)探針支架X/Y/Z 方向(xiang)行(xing)程，通過顯微(wei)鏡觀察(cha)，使探針對準(zhun)檢測點后(hou)，即可(ke)進行(xing)檢測