簡要描述:KT-Z1650PVD是(shi)一款小型(xing)臺(tai)式濺(jian)(jian)射(she)(she)功(gong)(gong)(gong)率可控磁控濺(jian)(jian)射(she)(she)儀,儀器雖小功(gong)(gong)(gong)能(neng)齊全,配備有電壓 電流反饋,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai)旋(xuan)轉,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)高(gao)度(du)調(diao)節,及電動擋板功(gong)(gong)(gong)能(neng)。通過(guo)定時調(diao)節預濺(jian)(jian)射(she)(she)功(gong)(gong)(gong)率及薄膜沉(chen)積功(gong)(gong)(gong)率,可對大部(bu)分金屬(shu)進(jin)行均(jun)勻物理沉(chen)積,真空腔(qiang)室為透明石英玻璃減少樣(yang)(yang)(yang)品(pin)污染,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai)可旋(xuan)轉以獲得更均(jun)勻的薄膜,可制(zhi)備各種金屬(shu)薄膜。
品牌 | 助藍科技 | 濺射氣體 | 詳詢 |
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樣品臺尺寸 | 詳詢mm | 控制方式 | 詳詢 |
樣品倉尺寸 | 詳詢mm | 靶材尺寸 | 詳詢mm |
靶材材質 | 詳詢 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖(sui)小功(gong)能齊(qi)全,配備(bei)有電(dian)(dian)壓 電(dian)(dian)流反饋,樣(yang)品(pin)臺旋(xuan)轉,樣(yang)品(pin)高度調(diao)節,及電(dian)(dian)動擋(dang)板功(gong)能。通過定時(shi)調(diao)節預(yu)濺(jian)射功(gong)率及薄膜沉積(ji)功(gong)率,可對大部分(fen)金(jin)屬(shu)進行均勻物理(li)沉積(ji),真空腔室為透明石(shi)英(ying)玻璃減(jian)少樣(yang)品(pin)污染,樣(yang)品(pin)臺可旋(xuan)轉以獲得更均勻的薄膜,可制備(bei)各種金(jin)屬(shu)薄膜。
目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統 等離子清洗機 小型離子濺射儀 磁控濺射儀 石英管真空封口 半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。
公司與國(guo)內高校,科研院所有(you)多(duo)層次的(de)合(he)作(zuo)關系,建有(you)開(kai)放實驗室,相關領(ling)域的(de)教授、高級工(gong)程(cheng)師(shi)、博士(shi)參與公司產(chan)品(pin)的(de)研究和開(kai)發。我(wo)們秉承公司的(de)發展理(li)念,依(yi)靠嚴謹(jin)的(de)技術(shu)研發能(neng)力,科學(xue)合(he)理(li)的(de)生產(chan)工(gong)藝,精(jing)益求(qiu)精(jing)的(de)制(zhi)造要求(qiu),全心全意做好產(chan)品(pin)質量(liang)和服務工(gong)作(zuo),科探儀器時刻懷著(zhu)一顆(ke)真誠(cheng)的(de)心期(qi)待與您的(de)合(he)作(zuo)。
控制方式 | 7寸(cun)人機界面 手(shou)動 自動模式切換控制 |
濺(jian)射電源 | 40KHz濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程(cheng)序 |
大(da)功率 | ≤1000W |
大輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流(liu)≤1A |
極限真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋(dang)板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔室 | 石(shi)英+不銹鋼腔(qiang)體(ti)φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (大可安裝(zhuang)φ50基(ji)底(di)) |
樣品臺(tai)轉速(su) | 8轉(zhuan)/分(fen)鐘 |
樣品濺射源調節距(ju)離 | 40-105mm |
真空測量(liang) | 皮拉尼(ni)真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空(kong)接口 | KF25抽氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡套進(jin)氣(qi)口 |
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