多種氣體流量計混合配比器模擬式質量流(liu)量控制器(qi)是(shi)是(shi)中國早的氣體測控產品，迄今為(wei)止已經30多(duo)年。 產品種(zhong)類50余(yu)種(zhong)，涵蓋數字型(xing)，普通型(xing)，大量程型(xing)，高精度(du)型(xing)，快響(xiang)應型(xing)，耐(nai)壓型(xing)，金屬密封型(xing)等多(duo)種(zhong)類型(xing)的需求。產品歷經市場(chang)考(kao)驗，廣泛應用于半導體、真空、太陽能(neng)、分析(xi)儀器(qi)、光電(dian)、制氣、石化(hua)、醫療、食品、航空電(dian)力(li)等行(xing)(xing)業，已經成為(wei)支撐各工業領域行(xing)(xing)業發展的重要設備。

產品用途;
  多種氣體流量計混合配比器和氣體(ti)質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計（MFM）用于(yu)對氣體(ti)的(de)質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)進行精密(mi)控制和測量(liang)(liang)(liang)。它(ta)們在半導(dao)體(ti)集成(cheng)電(dian)路(lu)工藝、特種材料、化學(xue)工業(ye)(ye)、石油工業(ye)(ye)、醫藥、環 保和真空等多種領域的(de)科研(yan)和生產中有著(zhu)重要的(de)應用。其典型(xing)的(de)應用場(chang)合包括: 集成(cheng)電(dian)路(lu)工 藝設備, 如外延爐(lu)、擴散爐(lu)、CVD、等離(li)子(zi)刻(ke)蝕機(ji)、濺射臺、離(li)子(zi)注(zhu)入機(ji); 以及鍍膜(mo)設備、 光纖熔煉設備、微反(fan)應裝置、混氣配氣系統(tong)、氣體(ti)取樣裝置、毛細管測量(liang)(liang)(liang)儀、氣相色譜儀及 其它(ta)分(fen)析儀器。

氣(qi)(qi)(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制(zhi)器（MFC）和氣(qi)(qi)(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計（MFM）用于對氣(qi)(qi)(qi)體的質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)進行 精密控制(zhi)和測量(liang)(liang)。它們在半導體集成(cheng)電路工藝(yi)、特種材料、化學工業(ye)(ye)、石油工業(ye)(ye)、醫藥(yao)、環 保和真(zhen)空等(deng)多種領域的科(ke)研和生產中有(you)著(zhu)重要的應(ying)(ying)用。其典型的應(ying)(ying)用場合(he)包括: 集成(cheng)電路工 藝(yi)設備(bei), 如(ru)外延爐(lu)、擴散(san)爐(lu)、CVD、等(deng)離子(zi)刻蝕機(ji)、濺射臺(tai)、離子(zi)注(zhu)入機(ji); 以及鍍膜設備(bei)、光纖熔煉(lian)設備(bei)、微反(fan)應(ying)(ying)裝置、混氣(qi)(qi)(qi)配氣(qi)(qi)(qi)系統、氣(qi)(qi)(qi)體取樣裝置、毛細管測量(liang)(liang)儀(yi)、氣(qi)(qi)(qi)相色(se)譜儀(yi)及 其它分析儀(yi)器。