| 品牌 | 鄭科探 |
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高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL
高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。
為了減少(shao)泵組的振(zhen)動，我(wo)們(men)還(huan)專門為用(yong)戶(hu)設計了隔振(zhen)器(qi)，很(hen)大(da)程度(du)地(di)衰減(jian)泵組工作時產生(sheng)的振(zhen)動，以確(que)保系(xi)統(tong)的穩(wen)定，減(jian)少探(tan)針(zhen)的漂移。
高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL參數
| 真空腔體 | |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 |
| 上蓋開(kai)啟 | 鉸鏈(lian)側開 |
| 加熱臺(tai)材質 | 304不銹(xiu)鋼 |
| 內腔體尺寸 | φ160x90mm |
| 觀察窗尺寸(cun) | Φ70mm |
| 加熱臺尺寸 | φ60mm |
| 觀(guan)察窗熱(re)臺間距 | 75mm |
| 加熱臺溫度(du) | ﹣196~350℃ |
| 加熱臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ |
| 真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允許正壓 | ≤0.1MPa |
| 真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
| 氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接(jie)頭(tou) |
| 電信號接(jie)頭 | SMA轉BNC X 4 |
| 電學性能 | 絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ 介質(zhi)耐(nai)壓 ≤500V |
| 探針數量 | 4探(tan)針 |
| 探(tan)針材質(zhi) | 鎢針(zhen) |
| 探(tan)針尖 | 10μm |
| 探針(zhen)移動平臺 | |
| X軸移動行程(cheng) | 30mm ±15mm |
| X軸控制(zhi)精度 | ≤0.01mm |
| Y軸移(yi)動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
| Z軸移動(dong)行程(cheng) | 13mm ±12.5mm |
| Z軸控(kong)制精度 | ≤0.01mm |
| 電子顯微鏡(jing) | |
| 顯微鏡(jing)類(lei)別 | 物鏡 |
| 物鏡倍(bei)數 | 0.7-4.5倍(bei) |
| 工作間距(ju) | 90mm |
| 相機 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 圖像接口 | VGA |
| LED可調光源(yuan) | 有(you) |
| 顯示(shi)屏 | 8寸(cun) |
| 放大倍數 | 19-135倍(bei),視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最(zui)小可分(fen)辨0.08mm |
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