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真空探針臺

簡要描述:真空探(tan)針(zhen)臺KT-Z160TZ,高溫(wen)真空腔探(tan)針(zhen)系統(tong)主要用于為(wei)被(bei)測(ce)(ce)芯片(pian)提供一個低溫(wen)或者高溫(wen)的(de)(de)變溫(wen)測(ce)(ce)量環境(jing)(jing),以便(bian)測(ce)(ce)量分析溫(wen)度(du)變化(hua)時芯片(pian)性能參數的(de)(de)變化(hua)。腔體內被(bei)測(ce)(ce)芯片(pian)在真空環境(jing)(jing)中有效(xiao)避免(mian)易(yi)受(shou)氧化(hua)半導體器件接觸空氣所帶來的(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)結果誤(wu)差。

  • 產品型號(hao):KT-Z160TZ
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時(shi)間(jian):2023-09-18
  • 訪  問  量:703
詳細介紹
品牌鄭科探

真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于(yu)半(ban)導體(ti)行業、光電行業、集成電路以(yi)及封裝的測試(shi)。探(tan)針臺從(cong)操作上來(lai)區分有(you):手動,半(ban)自動,全自動從(cong)功能上來(lai)區分有(you):溫控探(tan)針臺,真空(kong)探(tan)  針臺(低(di)溫探針臺)RF探(tan)針臺,LCD平板(ban)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺,霍爾(er)效應(ying)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺,表面電(dian)阻(zu)率探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺。普遍應(ying)用于復雜、高速器(qi)件(jian)的精(jing)密電(dian)氣(qi)測量(liang)的研發,旨在(zai)確保質量(liang)及可(ke)靠性,并縮減研發時間(jian)和器(qi)件(jian)制造工藝(yi)的成本。自動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)測試(shi)臺在(zai)功能及組成上大同小異,即(ji)主要由x-y向工作臺,可(ke)編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成


高低(di)溫真(zhen)空 探針臺應用(yong):

可應用于低(di)溫或高溫真空環境下被(bei)測樣(yang)品的電學(xue)性(xing)能(neng)測試分析,如:半導體/微電(dian)子,電(dian)子,機電(dian),物理,化學(xue),材料,光電(dian),納(na)米,微機電(dian)/MEMS,生物芯(xin)片,航(hang)空航(hang)天等科學(xue)研究領域,以(yi)及IC設計/制造/測(ce)試/封裝、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等(deng)生產(chan)制(zhi)造領域。



· 結構(gou)緊(jin)湊,適用(yong)于各種變(bian)溫測試
· -196~400℃(配液氮致冷模塊)
· 氣密腔室設計,可通(tong)保護(hu)氣氛
· 4探針,手動定位(可擴展為6個)

· 支(zhi)持改(gai)動或定(ding)制


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真空探針臺KT-Z160TZ參數

真空(kong)腔體(ti)

腔體材質

304不銹鋼

上(shang)蓋開(kai)啟

鉸鏈側(ce)開

加熱臺材質

304不銹鋼(gang)

內腔體(ti)尺寸(cun)

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加(jia)熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫(wen)度

﹣196~400

加(jia)熱臺溫控誤(wu)差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正(zheng)壓

≤0.1MPa

真空(kong)抽(chou)氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電(dian)信號接頭(tou)

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhi)耐壓(ya) ≤500V

探(tan)針數量

4探針

探(tan)針材質(zhi)

鎢(wu)針  

探針尖(jian)

10μm

探針移(yi)動平臺

X軸移動行(xing)程

30mm    ±15mm

X軸(zhou)控制精(jing)度

≤0.01mm

Y軸(zhou)移(yi)動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸(zhou)控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控(kong)制精度(du)

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別(bie)

物鏡

物(wu)鏡(jing)倍(bei)數

0.7-4.5倍(bei)

工作間距

90mm

相機(ji)

sony 高清

像(xiang)素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可(ke)調光源(yuan)

顯示屏(ping)

8

放大倍數

19-135倍,視場范(fan)圍15×13-2.25×1.7mm,最(zui)小可分(fen)辨0.08mm





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