簡要描述:真空探(tan)針(zhen)臺KT-Z160TZ,高溫(wen)真空腔探(tan)針(zhen)系統(tong)主要用于為(wei)被(bei)測(ce)(ce)芯片(pian)提供一個低溫(wen)或者高溫(wen)的(de)(de)變溫(wen)測(ce)(ce)量環境(jing)(jing),以便(bian)測(ce)(ce)量分析溫(wen)度(du)變化(hua)時芯片(pian)性能參數的(de)(de)變化(hua)。腔體內被(bei)測(ce)(ce)芯片(pian)在真空環境(jing)(jing)中有效(xiao)避免(mian)易(yi)受(shou)氧化(hua)半導體器件接觸空氣所帶來的(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)結果誤(wu)差。
品牌 | 鄭科探 |
---|
真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于(yu)半(ban)導體(ti)行業、光電行業、集成電路以(yi)及封裝的測試(shi)。探(tan)針臺從(cong)操作上來(lai)區分有(you):手動,半(ban)自動,全自動從(cong)功能上來(lai)區分有(you):溫控探(tan)針臺,真空(kong)探(tan) 針臺(低(di)溫探針臺),RF探(tan)針臺,LCD平板(ban)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺,霍爾(er)效應(ying)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺,表面電(dian)阻(zu)率探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺。普遍應(ying)用于復雜、高速器(qi)件(jian)的精(jing)密電(dian)氣(qi)測量(liang)的研發,旨在(zai)確保質量(liang)及可(ke)靠性,并縮減研發時間(jian)和器(qi)件(jian)制造工藝(yi)的成本。自動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)測試(shi)臺在(zai)功能及組成上大同小異,即(ji)主要由x-y向工作臺,可(ke)編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成
高低(di)溫真(zhen)空 探針臺應用(yong):
可應用于低(di)溫或高溫真空環境下被(bei)測樣(yang)品的電學(xue)性(xing)能(neng)測試分析,如:半導體/微電(dian)子,電(dian)子,機電(dian),物理,化學(xue),材料,光電(dian),納(na)米,微機電(dian)/MEMS,生物芯(xin)片,航(hang)空航(hang)天等科學(xue)研究領域,以(yi)及IC設計/制造/測(ce)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等(deng)生產(chan)制(zhi)造領域。
· 結構(gou)緊(jin)湊,適用(yong)于各種變(bian)溫測試
· -196℃~400℃(配液氮致冷模塊)
· 氣密腔室設計,可通(tong)保護(hu)氣氛
· 4探針,手動定位(可擴展為6個)
· 支(zhi)持改(gai)動或定(ding)制
真空探針臺KT-Z160TZ參數
真空(kong)腔體(ti) | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上(shang)蓋開(kai)啟 | 鉸鏈側(ce)開 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼(gang) |
內腔體(ti)尺寸(cun) | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加(jia)熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫(wen)度 | ﹣196~400℃ |
加(jia)熱臺溫控誤(wu)差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正(zheng)壓 | ≤0.1MPa |
真空(kong)抽(chou)氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電(dian)信號接頭(tou) | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhi)耐壓(ya) ≤500V |
探(tan)針數量 | 4探針 |
探(tan)針材質(zhi) | 鎢(wu)針 |
探針尖(jian) | 10μm |
探針移(yi)動平臺 | |
X軸移動行(xing)程 | 30mm ±15mm |
X軸(zhou)控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
Y軸(zhou)移(yi)動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸(zhou)控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控(kong)制精度(du) | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別(bie) | 物鏡 |
物(wu)鏡(jing)倍(bei)數 | 0.7-4.5倍(bei) |
工作間距 | 90mm |
相機(ji) | sony 高清 |
像(xiang)素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可(ke)調光源(yuan) | 有 |
顯示屏(ping) | 8寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場范(fan)圍15×13-2.25×1.7mm,最(zui)小可分(fen)辨0.08mm |
掃一掃 微信咨詢
©2024 鄭州科探儀器設備有限公司 版權所有 技術支持: Sitemap.xml 總訪問量:98293