高溫蒸鍍儀，KT-Z1650CVD，石英＋不銹鋼(gang)腔體(ti)，觸摸屏控制(zhi)，工藝儲存功(gong)能，自動(dong)電(dian)控擋板保護樣品

在(zai)厚度為(wei)2nm (20埃)或(huo)更(geng)厚時膜是連(lian)續的。通常的沉積形(xing)式是加熱(re)碳(tan)或(huo)石墨棒(bang)。棒(bang)具有(you)特定的形(xing)狀以(yi)達到最大電(dian)流(liu)密度，使得它具有(you)足夠(gou)的溫度來(lai)引起蒸發。基于這點，出現了細小的、亮的、熱(re)的碳(tan)顆粒。此(ci)系統(tong)需要用擴散泵或(huo)渦(wo)輪分(fen)子泵達到1x10-4 mbar或(huo)更(geng)高的真空度。
渦(wo)輪分子泵(beng)在K950X中(zhong)作為(wei)標(biao)準(zhun)配置(zhi)，此泵(beng)作為(wei)機械(xie)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)后(hou)級泵(beng)，真(zhen)空(kong)為(wei)全自動控(kong)制(zhi)，真(zhen)空(kong)度優(you)于1x10-5 mbar。可進(jin)行預熱及除氣控(kong)制(zhi)，同(tong)時用瞬時蒸(zheng)發開關使脈沖蒸(zheng)發在用戶控(kong)制(zhi)下進(jin)行。
標準(zhun)的旋轉(zhuan)樣(yang)品臺可進(jin)行(xing)傾斜調節，非常容(rong)易適應各(ge)種樣(yang)品座。

以(yi)下是不同真(zhen)空(kong)度(du) 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖(tu)

  原樣品沒有鍍膜                        115A 100秒(miao) 機械泵

115A 100秒 分子泵抽12分鐘      115A 120秒 分(fen)子泵抽20分(fen)鐘

真空度越高 越不易氧化 越接近金(jin)屬本色

高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD