品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD,該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體,對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩定性提供了解決方案。設備具(ju)有(you)外形(xing)美觀、結構緊(jin)湊、占地面積小、自動化程度高、操作簡單靈(ling)活、性能穩(wen)定(ding)、易維護等特點(dian)。設備可適用(yong)于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃(li)、陶瓷等(deng)材質;可制(zhi)備單質金屬(shu)層如(ru)鈦、鉻(ge)、銀(yin)、銅或(huo)金屬(shu)化合物膜層如(ru)TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等(deng);可實現(xian)深黑色、爐內金、玫瑰金、仿金、鋯(gao)金、寶石(shi)藍、亮(liang)銀色(se)(se)等顏色(se)(se)。
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;
控制方式 | 7寸人(ren)機界面 手動 自動模式(shi)切換控制 |
濺射電(dian)源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功(gong)能 | 0-999秒5段可變換功率(lv)及擋板位和樣品速度程(cheng)序(xu) |
功率(lv) | ≤1000W |
輸出電(dian)(dian)壓電(dian)(dian)流 | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真空(kong) | 機(ji)械泵 ≤5Pa(5分鐘(zhong)) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室(shi) | 石英+不銹鋼腔(qiang)體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tai) | 可旋轉(zhuan)φ62 (可安裝φ50基(ji)底) |
樣品臺轉速 | 8轉(zhuan)/分鐘 |
樣品濺射源調(diao)節距離 | 40-105mm |
真(zhen)空測(ce)量 | 皮拉尼真(zhen)空計(已安裝 測量范(fan)圍(wei)10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口(kou) | KF25抽氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡套進氣(qi)口 |
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