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mini型磁控濺射儀

簡(jian)要描述:mini型磁控濺射(she)儀(yi)KT-Z1650PVD,桌面式(shi)設(she)計(ji)小巧卻功(gong)能齊全(quan)。觸摸屏控制功(gong)率,樣(yang)品(pin)臺0-8轉/分旋(xuan)轉,自動電動樣(yang)品(pin)擋板等(deng)。

  • 產品型號(hao):KT-Z1650PVD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更(geng)新(xin)時(shi)間:2023-09-08
  • 訪  問  量:878
詳細介紹
品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域綜合

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體,對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩定性提供了解決方案。設備具(ju)有(you)外形(xing)美觀、結構緊(jin)湊、占地面積小、自動化程度高、操作簡單靈(ling)活、性能穩(wen)定(ding)、易維護等特點(dian)設備可適用(yong)于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃(li)、陶瓷等(deng)材質;可制(zhi)備單質金屬(shu)層如(ru)鈦、鉻(ge)、銀(yin)、銅或(huo)金屬(shu)化合物膜層如(ru)TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等(deng);可實現(xian)深黑色、爐內金、玫瑰金、仿金、鋯(gao)金、寶石(shi)藍、亮(liang)銀色(se)(se)等顏色(se)(se)。

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mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;

控制方式

7寸人(ren)機界面 手動 自動模式(shi)切換控制

濺射電(dian)源

直流濺射電源

鍍膜功(gong)能

0-999秒5段可變換功率(lv)及擋板位和樣品速度程(cheng)序(xu)

功率(lv)

≤1000W

輸出電(dian)(dian)壓電(dian)(dian)流

電(dian)壓≤1000V  電(dian)流≤1A

真空(kong)

機(ji)械泵 ≤5Pa(5分鐘(zhong))   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室(shi)

石英+不銹鋼腔(qiang)體φ160mm x 170mm

樣品臺(tai)

可旋轉(zhuan)φ62  (可安裝φ50基(ji)底)

樣品臺轉速

8轉(zhuan)/分鐘

樣品濺射源調(diao)節距離

40-105mm

真(zhen)空測(ce)量

皮拉尼真(zhen)空計(已安裝 測量范(fan)圍(wei)10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口(kou)

KF25抽氣(qi)口    KF16放氣(qi)口   6mm卡套進氣(qi)口


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