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小型濺射儀鄭科探

簡要描述:小型濺射儀鄭(zheng)科探KT-Z1650PVD 該產(chan)品為臺(tai)式磁(ci)控濺射鍍(du)膜(mo)機,能夠在非導(dao)電或導(dao)電不良的(de)(de)樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的(de)(de)薄(bo)膜(mo)。 在較短時間(jian)內即可形成具有細粒度(du)的(de)(de)均勻薄(bo)膜(mo),

  • 產品(pin)型號:KT-Z1650PVD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更(geng)新時間(jian):2023-09-08
  • 訪  問  量:816
詳細介紹
品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域化工,電氣

小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD


離子濺射儀(yi)在掃描(miao)電(dian)鏡中應用十(shi)分(fen)廣泛(fan),通(tong)過向(xiang)樣品(pin)表(biao)面(mian)噴鍍金、鉑、鈀及(ji)混合靶材(cai)等(deng)金屬消除(chu)不(bu)導電(dian)樣品(pin)的(de)荷電(dian)現象,并提高觀測(ce)效(xiao)率,另外(wai)可以(yi)使用噴碳附件對樣品(pin)進(jin)行蒸(zheng)碳,實(shi)現不(bu)導電(dian)樣品(pin)的(de)能(neng)譜儀(yi)元素定性(xing)和半定量分(fen)析。


磁(ci)控濺射(she)優(you)點

1沉積(ji)速率(lv)快,沉積(ji)效率(lv)高,適合(he)工業生產(chan)大(da)規模應用

2基片溫度低,適合塑料等(deng)不耐高溫的基材鍍(du)膜(mo)

3制備的(de)薄(bo)膜(mo)純度高、致(zhi)密性好(hao)、薄(bo)膜(mo)均勻(yun)性好(hao)、膜(mo)基結(jie)合力強

4可制備(bei)金(jin)屬、合金(jin)、氧化物等(deng)薄膜


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小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;

控制方式

7寸人機(ji)界面 手(shou)動(dong) 自動(dong)模式切(qie)換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品(pin)速度程(cheng)序

功率

≤1000W

輸出電壓電流(liu)

電(dian)壓≤1000V  電(dian)流≤1A

真(zhen)空

機(ji)械(xie)泵(beng) ≤5Pa(5分鐘(zhong))   分子泵(beng)≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類(lei)型(xing)

電控(kong)

真空腔室

石英+不銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm

樣品(pin)臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調(diao)節距離

40-105mm

真空測量

皮拉(la)尼真空計(已安裝 測量(liang)范(fan)圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口(kou)

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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