品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電氣 |
小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD
離子濺射儀(yi)在掃描(miao)電(dian)鏡中應用十(shi)分(fen)廣泛(fan),通(tong)過向(xiang)樣品(pin)表(biao)面(mian)噴鍍金、鉑、鈀及(ji)混合靶材(cai)等(deng)金屬消除(chu)不(bu)導電(dian)樣品(pin)的(de)荷電(dian)現象,并提高觀測(ce)效(xiao)率,另外(wai)可以(yi)使用噴碳附件對樣品(pin)進(jin)行蒸(zheng)碳,實(shi)現不(bu)導電(dian)樣品(pin)的(de)能(neng)譜儀(yi)元素定性(xing)和半定量分(fen)析。
磁(ci)控濺射(she)優(you)點
(1)沉積(ji)速率(lv)快,沉積(ji)效率(lv)高,適合(he)工業生產(chan)大(da)規模應用;
(2)基片溫度低,適合塑料等(deng)不耐高溫的基材鍍(du)膜(mo);
(3)制備的(de)薄(bo)膜(mo)純度高、致(zhi)密性好(hao)、薄(bo)膜(mo)均勻(yun)性好(hao)、膜(mo)基結(jie)合力強;
(4)可制備(bei)金(jin)屬、合金(jin)、氧化物等(deng)薄膜;
小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;
控制方式 | 7寸人機(ji)界面 手(shou)動(dong) 自動(dong)模式切(qie)換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品(pin)速度程(cheng)序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流(liu) | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真(zhen)空 | 機(ji)械(xie)泵(beng) ≤5Pa(5分鐘(zhong)) 分子泵(beng)≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lei)型(xing) | 電控(kong) |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm |
樣品(pin)臺 | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調(diao)節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉(la)尼真空計(已安裝 測量(liang)范(fan)圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口(kou) | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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