小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

是一款小型多(duo)功能鍍(du)膜儀，額定1800度高(gao)溫，自(zi)動(dong)樣品(pin)擋(dang)板，靶(ba)臺旋(xuan)轉，觸(chu)摸屏多(duo)段控制，工藝儲(chu)存等(deng)功能。

（3）蒸(zheng)(zheng)發(fa)原子或分子在(zai)基片表(biao)面張得沉(chen)積(ji)過程。即是蒸(zheng)(zheng)發(fa)，凝(ning)聚，成核(he)，核(he)生長(chang)，形成連續的膜。由(you)于(yu)基板溫(wen)度(du)遠

低于基板(ban)溫度遠低于蒸發源溫度，因(yin)此，氣態分子在基片表(biao)面(mian)將發生直接由氣態到固態的相轉(zhuan)變過程。

以(yi)下(xia)是不同真空(kong)度 不同鍍(du)膜時間鍍(du)銅樣品(pin)圖(tu)

  原樣品沒有鍍膜                        115A 100秒(miao) 機械泵(beng)

115A 100秒 分子泵抽12分鐘      115A 120秒 分子泵抽20分鐘

真空度越(yue)(yue)高 越(yue)(yue)不(bu)易氧化 越(yue)(yue)接近金屬本色

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD