類型(xing)

高溫型室溫到(dao)400℃

高低溫(wen)型(xing) 室溫到400℃  室溫到(dao)-196℃

腔(qiang)體材質

304不(bu)銹(xiu)鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nei)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重量

不銹鋼材質 約(yue)1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔(qiang)體上視(shi)窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用(yong)于減少窗口和樣品之(zhi)間(jian)距離）

腔(qiang)體(ti)抽氣口

KF16法蘭（其余接口規格(ge)可轉接）

腔體(ti)真空(kong)測量口(kou)

KF16法蘭（其余接口規(gui)格可轉接）

腔(qiang)體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插(cha)

腔體冷卻(que)方式

腔體(ti)水冷+上蓋氣冷

腔體(ti)(ti)水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔(qiang)體真空(kong)度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘(zhong)）

樣品臺

樣(yang)品臺材質(zhi)

不銹鋼 銀銅(tong)合金(jin) 純(chun)銀塊

銀(yin)銅合金 純銀(yin)塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品(pin)臺加熱方式

電(dian)阻加熱

電阻加(jia)熱 液氮制冷

樣品臺(tai)-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗(chuang)用(yong)于減(jian)少(shao)窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距離到6mm）

樣品臺測溫傳(chuan)感器

PT100型熱電阻

樣(yang)品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品(pin)臺升溫速(su)率

高(gao)溫100℃/min 最大(da)值   低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分(fen)辨(bian)率(lv)

0.1℃

溫(wen)控精度(du)

±0.5℃

溫(wen)度信(xin)號輸入類型

PT100 （可選K  S  B型熱(re)電(dian)偶(ou)）

溫控輸(shu)出

直(zhi)流線性電源加熱

直(zhi)流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數據(ju)采集(ji)并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真(zhen)空(kong)讀(du)數(shu)接口

溫控(kong)器(qi)尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重(zhong)量(liang)

約5.6KG

探針

電(dian)信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三(san)同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭(tou) 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可擴(kuo)展5探針(zhen)）

探針材質

鍍金鎢(wu)針 （其他材質(zhi)可選）

探針(zhen)尖

10μm

手動探針移(yi)動平臺(tai)

X軸(zhou)移動行程

20mm    ±10mm（需手動(dong)(dong)推動(dong)(dong)滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動(dong)行程(cheng)

120°    ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程(cheng)

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制(zhi)精度

≤50μm（需手動螺紋調節探針(zhen)桿(gan)）