簡要描述(shu):鉻金(jin)薄膜(mo)的(de)蒸(zheng)(zheng)鍍(du)生長(chang)。本文所研(yan)究的(de)叉指(zhi)(zhi)電極(ji)結構采用鉻、金(jin)材料制(zhi)作(zuo)。首(shou)先(xian)需要(yao)在(zai)玻(bo)璃(li)襯底(di)上生長(chang)一層(ceng)均勻(yun)覆蓋的(de)薄膜(mo)。將(jiang)上一步(bu)工藝過(guo)程中清(qing)洗好的(de)玻(bo)璃(li)片放入(ru)電子束蒸(zheng)(zheng)發鍍(du)膜(mo)機中,抽真空后,先(xian)蒸(zheng)(zheng)鍍(du) 50 厚度的(de)鉻金(jin)屬(shu)層(ceng),再蒸(zheng)(zheng)鍍(du)1000Å 厚度的(de)金(jin)層(ceng),后升溫到 300℃進行(xing)熱處理以(yi)增強鉻金(jin)層(ceng)的(de)黏附性(xing)。鉑金(jin)叉指(zhi)(zhi)電*低(di)溫探針臺是一款專門用于叉指(zhi)(zhi)電極(ji)的(de)經濟型探針臺。
相關文章
品牌 | 鄭科探 | 價格區間 | 面議 |
---|---|---|---|
自動化度 | 手動 | 產地類別 | 國產 |
應用領域 | 化工,電子 |
鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發鍍膜機中,抽真空后,先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層,再蒸鍍1000? 厚度的金層,后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。
紫外光(guang)(guang)刻。首先利用勻膠(jiao)(jiao)機在玻璃襯底表面旋涂一(yi)層均勻的光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao),厚度大約為(wei) 1~2μm,然(ran)后利用光(guang)(guang)刻機設備以及已制備好叉(cha)指電(dian)極(ji)圖(tu)形的光(guang)(guang)刻板在玻璃片表面進行(xing)紫外曝光(guang)(guang)工藝,然(ran)后在顯影液中(zhong)顯影得到掩模圖(tu)形。完成(cheng)光(guang)(guang)刻后,在鉻金金屬薄膜表面上就(jiu)形成(cheng)光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao)的電(dian)極(ji)圖(tu)案。
叉指電(dian)極(ji)是指狀(zhuang)或梳狀(zhuang)的(de)面內有周期(qi)性圖案的(de)電(dian)極(ji),它是通(tong)過電(dian)化(hua)學工藝加工獲得的(de)超精細電(dian)路。作為電(dian)信(xin)號傳輸(shu)核心部件,廣泛(fan)應用于生物醫療檢測、環境在(zai)線監(jian)測,食品安(an)(an)全(quan)檢測,安(an)(an)全(quan)監(jian)測等(deng)重要領域。
鉑金叉指電*低溫探針臺
鉑金叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數
真空腔(qiang)體 | ||
類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫(wen)到(dao)400℃ 室溫(wen)到(dao)-196℃ |
腔體材質 | 304不(bu)銹鋼 6061鋁合(he)金 可選 | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹(xiu)鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質(zhi) 約0.5KG | |
腔(qiang)體(ti)上視(shi)窗尺寸 | Φ42mm(可選配凹視窗用(yong)于減少窗口和(he)樣(yang)品之間距離) | |
腔(qiang)體抽(chou)氣口(kou) | KF16法蘭(lan)(其余接口(kou)規格可轉接) | |
腔體(ti)真(zhen)空測量口(kou) | KF16法蘭(其余接口(kou)規(gui)格可轉(zhuan)接) | |
腔(qiang)體進氣(qi)口 | 6mm快擰 或(huo) 6mm快(kuai)插 | |
腔(qiang)體(ti)冷(leng)卻方(fang)式 | 腔體(ti)水冷(leng)+上蓋(gai)氣(qi)冷 | |
腔(qiang)體(ti)水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa (5分(fen)鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | |
樣(yang)品臺 | ||
樣(yang)品臺材質(zhi) | 不銹鋼 銀銅合(he)金 純銀(yin)塊 | 銀銅合金(jin) 純銀塊 |
樣(yang)品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品(pin)臺(tai)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻(zu)加熱 液氮制冷 |
樣品臺(tai)-視窗 距離 | 11mm(可(ke)選配凹視(shi)窗(chuang)用于(yu)減少窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距(ju)離到6mm) | |
樣品(pin)臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度(du) | 室(shi)溫到400℃ | 室溫到(dao)400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tai)測溫誤差(cha) | ±0.5℃ | |
樣(yang)品臺升溫速率(lv) | 高溫(wen)100℃/min 最大值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫(wen)度顯示 | 7寸人機界面(mian) | |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整(zheng)定 | |
溫度分辨率(lv) | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型(xing) | PT100 (可選K S B型熱電(dian)偶) | |
溫控輸(shu)出 | 直流線性(xing)電源加熱 | 直流線(xian)性(xing)電源加熱+液氮流速控制(zhi)器 |
輔助功能 | 溫(wen)度數據采集并(bing)導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空(kong)讀數接口(kou) | |
溫(wen)控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器(qi)重量(liang) | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉(zhuan)接 BNC接(jie)頭 BNC三同軸(zhou)接(jie)頭 SMA 接(jie)頭 香蕉(jiao)插頭 線長1.2米 | |
電學性能 | 絕緣電(dian)阻(zu) ≥4000MΩ 介質(zhi)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數量 | 4探針(zhen)(可擴展5探(tan)針) | |
探針材質 | 鍍金鎢(wu)針 (其(qi)他材質(zhi)可(ke)選(xuan)) | |
探針尖(jian) | 10μm | |
手動(dong)探針移(yi)動(dong)平臺 | ||
X軸(zhou)移動行程 | 20mm ±10mm(需手動(dong)推動(dong)滑臺) | |
X軸控(kong)制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dong)行程(cheng) | 120° ±60°(需手動旋轉探(tan)針桿) | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm(需手動螺紋調節探針桿) |
掃(sao)一掃(sao) 微(wei)信咨(zi)詢
©2024 鄭州科探儀器設備有限公司 版權所有 技術支持: Sitemap.xml 總訪問(wen)量:98594