類型

高溫型室溫到400℃

高低溫型 室(shi)溫到400℃  室溫到(dao)-196℃

腔體材(cai)質(zhi)

304不銹鋼 6061鋁(lv)合(he)金 可選(xuan)

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重(zhong)量

不銹(xiu)鋼(gang)材質(zhi) 約1.5KG     鋁合金材質(zhi) 約(yue)0.5KG

腔體(ti)上視(shi)窗(chuang)尺寸

Φ42mm（可選(xuan)配凹視窗用(yong)于減少窗口和樣品之間(jian)距離(li)）

腔體抽氣口(kou)

KF16法蘭（其(qi)余接口規格可(ke)轉接）

腔體(ti)真(zhen)空測量(liang)口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進(jin)氣口

6mm快擰(ning) 或 6mm快(kuai)插

腔(qiang)體(ti)冷(leng)卻(que)方(fang)式

腔(qiang)體水冷+上(shang)蓋(gai)氣冷(leng)

腔體水(shui)冷接口

腔體(ti)正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘）  分子泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘）

樣(yang)品臺

樣品(pin)臺材質

不銹鋼 銀銅(tong)合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺(chi)寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電(dian)阻加熱

電阻加熱(re) 液氮制冷

樣品(pin)臺-視窗 距(ju)離(li)

11mm（可(ke)選配凹視窗(chuang)用于(yu)減少(shao)窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距(ju)離到6mm）

樣品臺測溫傳感(gan)器

PT100型(xing)熱電阻

樣品臺(tai)溫度(du)

室溫(wen)到400℃

室溫(wen)到400℃  室(shi)溫(wen)到-196℃

樣品臺測溫誤(wu)差(cha)

±0.5℃

樣品臺升溫(wen)速率

高溫100℃/min 最(zui)大值   低溫(wen)7℃/min

溫(wen)控(kong)儀

溫度(du)顯示

7寸人機界面

溫控(kong)類型

標(biao)準PID溫控(kong) +自整(zheng)定

溫(wen)度分辨(bian)率(lv)

0.1℃

溫(wen)控精度

±0.5℃

溫(wen)度信號輸入類型

PT100 （可選(xuan)K  S  B型熱電偶）

溫控(kong)輸出

直流線性電(dian)源加熱

直流線性電源加熱+液氮(dan)流速控制器

輔助(zhu)功(gong)能(neng)

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuo)展真空讀數接(jie)口

溫控器尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫(wen)控(kong)器重量(liang)

約5.6KG

探(tan)針(zhen)

電信號接頭(tou)

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線(xian)長1.2米

電學性能

絕緣電(dian)阻 ≥4000MΩ     介(jie)質耐壓 ≤200V    電(dian)流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針（可(ke)擴(kuo)展5探針）

探針材質(zhi)

鍍金鎢針 （其他(ta)材(cai)質可選）

探針尖

10μm

手動探針(zhen)移(yi)動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需(xu)手(shou)動(dong)推動(dong)滑臺）

X軸(zhou)控制精度

≥500μm

R軸移(yi)動(dong)行程

120°    ±60°（需手動(dong)旋轉探針(zhen)桿）

R軸(zhou)控制(zhi)精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精(jing)度

≤50μm（需手(shou)動螺紋(wen)調節探針桿）