簡要描述(shu):小型蒸(zheng)(zheng)(zheng)鍍(du)儀KT-Z1650CVD是鄭州科探儀器設(she)備有(you)限公司生產,臺(tai)式設(she)計、軟件自(zi)動操(cao)控、高性價比(bi),非常(chang)適(shi)合實(shi)驗室科研(yan)使(shi)用。 通過加熱蒸(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)某種物質(zhi)使(shi)其沉積在(zai)固體(ti)表面。軟件自(zi)動操(cao)控、工藝儲(chu)存,高性價比(bi),非常(chang)適(shi)合實(shi)驗室科研(yan)使(shi)用。稱為熱蒸(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo),熱蒸(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo)技術是歷史(shi)最悠久的(de)PVD鍍(du)膜(mo)技術之一。熱蒸(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo)機一般主要(yao)用于(yu)蒸(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等。
品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 化工,電子 |
一、技術(shu)原(yuan)理:
(1)小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。
(2)通過加熱(re)蒸(zheng)(zheng)(zheng)發某種物質使其沉積(ji)在固體(ti)表(biao)面,稱為熱(re)蒸(zheng)(zheng)(zheng)發鍍(du)膜(mo),熱(re)蒸(zheng)(zheng)(zheng)發鍍(du)膜(mo)技(ji)術(shu)是歷史最悠久的PVD鍍(du)膜(mo)技(ji)術(shu)之一。熱(re)蒸(zheng)(zheng)(zheng)發鍍(du)膜(mo)機一般主要用于蒸(zheng)(zheng)(zheng)發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等(deng)材料。以下(xia)為蒸(zheng)(zheng)(zheng)發鍍(du)膜(mo)設備的示意(yi)圖。
二(er)、真空度越(yue)(yue)高越(yue)(yue)不易氧化越(yue)(yue)接近金屬(shu)本色:
★玻璃鐘罩真(zhen)空腔室,最直觀的蒸發狀態和薄膜沉積(ji)現象(xiang)觀察;
★復合分子泵(beng)和直聯旋(xuan)片(pian)泵(beng),大抽速準(zhun)無油真空系統(分子泵(beng)抽速≥400L/S);
★兩(liang)組(zu)水(shui)冷式蒸發電(dian)極,可長(chang)時間穩定工作,兼容金屬材料(liao)與有機材料(liao)的蒸發源設計;
★專業真(zhen)空蒸發電源(yuan),數顯工(gong)作(zuo)電流(liu)和電壓,恒流(liu)輸出;
★可定(ding)制(zhi)一體(ti)化高精度(du)刻蝕掩膜(mo)板;
★襯(chen)底可選擇加熱或水(shui)冷,源(yuan)基距≥300mm;
★可調速旋轉靶臺使薄膜更均勻;
★可(ke)沉(chen)積(ji)金屬(shu)(shu)(Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等)、非金屬(shu)(shu)、化合物(wu)(MoO3,LiF等)及有機物(wu)材料(liao),可(ke)拓展(zhan)沉(chen)積(ji)單層膜、多層膜及混(hun)合膜;
★7寸顯示器定時定點調節電流,達到控制功率效果;
★具有記憶儲存功能,直接調出已儲存的數據進行鍍膜達到同樣工藝效果;
★配置了靶臺擋板,可手動調節或自動調節擋板,及時遮擋樣品,保證樣品效果;
三、技術支持(chi)&服務:
1.技(ji)術支(zhi)持:在合同簽訂之前,我們的(de)專業工程師會(hui)在充(chong)分(fen)了解(jie)客戶(hu)需(xu)求的(de)前提下,為客戶(hu)做出*的(de)選型和方案設(she)計(ji),使客戶(hu)充(chong)分(fen)了解(jie)并(bing)理解(jie)產品技(ji)術指標、性能用途、使用場合、安全注(zhu)意事項等,以幫助客戶(hu)做出正確的(de)選擇。
2.安裝與(yu)培(pei)訓:在產(chan)品(pin)使用(yong)前,我(wo)們會派專業工程師為您提供(gong)現場技術支持、培(pei)訓及(ji)演示服(fu)務。
3.產品(pin)(pin)質(zhi)保:我們對產品(pin)(pin)提(ti)供12個月的質(zhi)保期,在(zai)質(zhi)保期內發生設備或配(pei)件損壞由公(gong)司負責賠償或免(mian)費維修。(耗材和(he)易損件除(chu)外)
4.終身(shen)(shen)維(wei)護:我們對提(ti)供的產品提(ti)供終身(shen)(shen)服務,對于超過質保(bao)期(qi)限(xian)的維(wei)修(xiu)、維(wei)護僅收取材料費(fei),免除一切人工費(fei)用(yong)。
以下是不同真(zhen)空度 不同鍍(du)膜(mo)時間鍍(du)銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子(zi)泵(beng)抽20分鐘
四、小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術資料:
控制方式(shi) | 7寸人(ren)機界面 手動 自動模式(shi)切換控制 |
加(jia)熱(re)方式 | 數(shu)字式功率(lv)調(diao)整器 |
鍍(du)膜功(gong)能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最(zui)大功(gong)率 | ≤1200W |
最(zui)大(da)輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真(zhen)空度(du) | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電(dian)控 |
真(zhen)空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品(pin)臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源調節距離 | 70-140mm |
蒸發溫度(du)調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發坩(gan)堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空(kong)接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |
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