簡要描述:小型濺(jian)射儀(yi)鄭州科(ke)探KT-Z1650PVD,能夠在(zai)非導電或導電不良的樣(yang)品上涂布(bu)金(jin)(Au),鈀(ba)(Pd),鉑(Pt)和金(jin)/鈀(ba)(Au / Pd)的薄膜(mo)。 在(zai)較(jiao)短(duan)時間內即可(ke)形成具有細(xi)粒(li)度的均勻薄膜(mo),使樣(yang)品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分(fen)析。儀(yi)器結構(gou)緊湊(cou),全(quan)自動控制,設計符合(he)人體工(gong)程學,所得結果一(yi)致,可(ke)重復(fu)性高。
品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
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樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
一、公司背(bei)景介(jie)紹:
(1)鄭州科(ke)探儀(yi)器(qi)設備是高質(zhi)量定制(zhi)(zhi)物(wu)理氣(qi)相沉積(ji)(PVD)系統的設計者和制(zhi)(zhi)造商,客(ke)戶服務(wu)和售后服務(wu)出(chu)色。擁有7年以上真空(kong)和薄膜沉積(ji)技術經驗。其研(yan)發(fa)(fa)團(tuan)隊在學界科(ke)學家和工(gong)程師的支持下,高度積(ji)極(ji)地開發(fa)(fa)新設計以滿(man)足客(ke)戶的特殊(shu)要求。
(2)鄭科探的(de)工程團隊(dui)設計和(he)(he)制造的(de)組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真(zhen)空鍍膜機已通過分銷商銷往(wang)許(xu)多大學(xue)和(he)(he)研究(jiu)中心,并(bing)得(de)到了很(hen)好的(de)參考和(he)(he)反饋(kui)。
二、儀器描述:小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)的薄膜。在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。
三、產(chan)品特點:
彩(cai)色(se)觸摸(mo)屏:數(shu)據輸入簡單快速。
通過觸摸屏中直觀檢測(ce)數據(ju)和曲(qu)線;歷(li)史(shi)(shi)頁面可顯示歷(li)史(shi)(shi)涂層信息。
可控鍍膜(mo)速率,可得到更精細的晶(jing)粒結(jie)構。
可(ke)手(shou)動(dong)或(huo)自動(dong),根據時間或(huo)根據厚度(du)進行濺射。
樣品(pin)臺(tai)更換簡單(dan):標準旋(xuan)轉(zhuan)樣品(pin)臺(tai)或選用(yong)行星式(shi)旋(xuan)轉(zhuan)樣品(pin)臺(tai)。
標準樣品臺(tai)高度可調、可傾斜、可旋(xuan)(xuan)轉;行星式旋(xuan)(xuan)轉樣品臺(tai)為(wei)多孔樣品帶來好的噴(pen)金效(xiao)果。
四、小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數:
控制方式(shi) | 7寸(cun)人機(ji)界(jie)面 手(shou)動(dong)(dong) 自動(dong)(dong)模(mo)式切換控制(zhi) |
濺(jian)射電源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜功能(neng) | 0-999秒5段可(ke)變換(huan)功(gong)率及擋板(ban)位和樣品速度程序 |
功(gong)率 | ≤1000W |
輸出電(dian)壓電(dian)流 | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真(zhen)空(kong) | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘(zhong)) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺(jian)射真空 | ≤30Pa |
擋板(ban)類(lei)型 | 電(dian)控 |
真空腔室(shi) | 石(shi)英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tai) | 可旋轉(zhuan)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuan)速 | 8轉/分鐘 |
樣(yang)品濺射源(yuan)調節距離 | 40-105mm |
真空測量(liang) | 皮拉尼真(zhen)空計(已安裝(zhuang) 測量(liang)范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真(zhen)空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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