半導體制冷超低溫探針熱臺精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。

    KT-Z165M4RT半導體制冷超低溫探針熱臺主要用于氣體(ti)敏感材(cai)料(liao)或其他對環境敏感性材(cai)料(liao)中的(de)(de)(de)電(dian)信號(hao)(hao)(hao)(hao)測(ce)(ce)試(shi)。測(ce)(ce)試(shi)腔(qiang)(qiang)體(ti)內部(bu)裝有(you)不銹(xiu)鋼加(jia)熱承載臺(tai)(tai)，臺(tai)(tai)面(mian)(mian)(mian)為φ30，臺(tai)(tai)面(mian)(mian)(mian)可升(sheng)溫到400℃。臺(tai)(tai)面(mian)(mian)(mian)四周裝有(you)微型3軸可移動(dong)鎢鋼探(tan)(tan)針，特別適合微小未封裝的(de)(de)(de)叉指電(dian)極等傳(chuan)感器(qi)(qi)測(ce)(ce)試(shi)。該腔(qiang)(qiang)體(ti)設計有(you)進氣口和(he)抽真(zhen)空接(jie)(jie)口其真(zhen)空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真(zhen)空信號(hao)(hao)(hao)(hao)連接(jie)(jie)處(chu)使(shi)用高級真(zhen)空電(dian)極信號(hao)(hao)(hao)(hao)接(jie)(jie)頭，保證氣密性及抗干擾(rao)性能。使(shi)用時將需將待檢測(ce)(ce)的(de)(de)(de)器(qi)(qi)件方在加(jia)熱臺(tai)(tai)面(mian)(mian)(mian)，探(tan)(tan)針處(chu)由3軸可移動(dong)探(tan)(tan)針手動(dong)調節移動(dong)至(zhi)被(bei)測(ce)(ce)試(shi)器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)引腳處(chu)，外部(bu)信號(hao)(hao)(hao)(hao)線連接(jie)(jie)測(ce)(ce)試(shi)儀器(qi)(qi)來測(ce)(ce)試(shi)電(dian)學信號(hao)(hao)(hao)(hao)。