簡(jian)要描(miao)述:微型(xing)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)探(tan)針臺(tai)設(she)計有進氣口和抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)接口其真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度用(yong)機械泵可(ke)達<5Pa分子泵可(ke)達<-3Pa。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)信號(hao)連(lian)接處使用(yong)高級真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)電極信號(hao)接頭,保證氣密性(xing)及抗干擾性(xing)能。使用(yong)時(shi)將需將待檢測(ce)的器件方在加熱(re)臺(tai)面(mian),探(tan)針尖(jian)處由3軸(zhou)可(ke)移(yi)動探(tan)針手動調節移(yi)動至被(bei)測(ce)試(shi)器件的引腳處,外(wai)部(bu)信號(hao)線連(lian)接測(ce)試(shi)儀器來測(ce)試(shi)電學信號(hao)。
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一、應用領域:東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ30,臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
二、作(zuo)用原理:有進(jin)氣(qi)口(kou)(kou)和抽真(zhen)(zhen)空(kong)接(jie)口(kou)(kou)其真(zhen)(zhen)空(kong)度用機械(xie)泵(beng)可達(da)(da)<5Pa分(fen)子泵(beng)可達(da)(da)<-3Pa。真(zhen)(zhen)空(kong)信號連(lian)接(jie)處(chu)使(shi)用高級真(zhen)(zhen)空(kong)電極信號接(jie)頭,保證氣(qi)密性(xing)及抗干擾(rao)性(xing)能。使(shi)用時將(jiang)需將(jiang)待檢測(ce)的器(qi)件方在加熱臺面(mian),探針尖處(chu)由(you)3軸可移動(dong)探針手動(dong)調(diao)節移動(dong)至(zhi)被(bei)測(ce)試器(qi)件的引腳處(chu),外(wai)部信號線連(lian)接(jie)測(ce)試儀器(qi)來測(ce)試電學信號。
三、微型真空探針臺技術參數:
溫控器 | |
加熱溫度 | 35-400℃ 注意(yi):熱(re)臺溫度(du)和樣(yang)品溫度(du)存在(zai)偏差 客戶可用PT100熱(re)電阻貼(tie)在(zai)和樣(yang)品接近的樣(yang)品臺面測(ce)量熱(re)電阻值對應分度(du)值做校(xiao)準。 |
溫控誤差 | ±1℃ |
熱電偶類型 | PT100高精(jing)度(du)傳感器 |
溫控表 | 宇電PID溫控器 |
程序控溫 | 1段(可選30段程序控溫(wen)表) |
加熱功率 | ≤300W |
加熱電源 | AC220v |
尺寸 | 230x230x125MM |
重量 | 6kg |
真空探針熱臺 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
加工方式 | 一體式CNC精加工 |
內腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積(ji)165ML |
加熱臺尺寸 | Φ35mm |
觀察窗內徑 | Φ45mm |
觀察窗材質 | 高透光石英玻璃 |
信號輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉(zhuan)BNC 1.5米(mi) |
電學性能 | 絕(jue)緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
抽氣口 | KF16 |
進氣口 | 6MM卡套 |
使用正壓 | ≤O.05MPa |
使用負壓 | 機(ji)械泵可獲得真空(kong)(kong)≤10Pa 分(fen)子泵可獲得真空(kong)(kong)≤10 -3 Pa |
可擴展配件 | 氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口 擴展5KV高壓電極 升級30段控溫儀表 |
移動探針 | |
探針規格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
上下移動距離 | 2.5mm |
前后移動距離 | ±10mm |
左右旋轉距離 | 120° |
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