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電學性能測試
微型探針臺是一種可以在不同溫度下對材料進行電學性能測試的設備，它有多種類型和應用，主要用于科學研究和教育實驗。微型探針臺的工作原理是通過探針與樣品接觸，形成電路，然后通過電學儀表測量樣品的電阻、電容、電流、電壓等參數，從而分析材料的特性。微型探針臺可以測試不同尺寸和形狀的樣品，例如晶圓、芯片、封裝器件、光電器件、材料片等。微型探針臺是一種高精度、高效率、高靈......
等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態3種狀態存在，但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態存在，如太陽表面的物質和地球大氣中電離層中的物質。這類物質所處的狀態稱為等離子體狀態，又稱為物質的第四態。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在，其本身很容易與固體表面發生反應。等離子體清洗主要是依靠等......
1.自我診斷技術自我診斷技術是在不停機或基本不拆機的情況下，通過各種檢測分析來判斷設備狀態是否正常，異常或故障的原因、部位、程度以及壽命的預測。自我診斷技術的主要作用是獲得設備的結果狀態信息，即根據設備在各種工況下，表現出來的精度超差，零點漂移，內漏等所有狀態信息的綜合分析來識別產品的狀態、異常類型和異常的嚴重程度，其......
快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的關鍵裝備主要用于離子注入后雜質的激活、淺結制作、生長高質量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術的飛速發展,開展快速退火爐系統的技術研究,對國內開發和研究具有自主知識產權的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應用價值。本文針對現代半導體器件退火工......
熱電偶元件是在工業、科研中廣泛使用的一種溫度傳感器,具有測溫范圍廣,堅固耐用,無自發熱現象,使用方便等優點。薄膜熱電偶除了繼承上述普通熱電偶的優點外,還具有熱容小,響應速度快,幾乎不占用空間,對被測物體影響小的優點。本研究為制備K型薄膜熱電偶選擇了電子束蒸發鍍,磁控濺射,多弧離子鍍三種PVD方法。其中一部分樣片的NiC......
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