類型

高溫(wen)(wen)型室(shi)溫(wen)(wen)到350℃

高(gao)低(di)溫型 室溫(wen)到350℃  室(shi)溫到(dao)-196℃

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金(jin) 可選

腔體內尺寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔(qiang)體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重量

不銹鋼(gang)材質(zhi) 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體(ti)(ti)上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視(shi)窗用于(yu)減少(shao)窗口和樣品之間(jian)距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規格(ge)可(ke)轉接）

腔體(ti)真(zhen)空(kong)測量口

KF16法蘭（其(qi)余接口規格可(ke)轉(zhuan)接）

腔體(ti)進氣口

6mm快(kuai)擰 或 6mm快插

腔體(ti)冷卻(que)方(fang)式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔(qiang)體真空(kong)度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺(tai)

樣(yang)品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品(pin)臺尺(chi)寸(cun)

26x26mm

樣品(pin)臺加熱方(fang)式

電阻加(jia)熱

電阻(zu)加熱(re) 液氮制(zhi)冷

樣品臺(tai)-視窗 距離(li)

11mm（可選配凹(ao)視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距離(li)到6mm）

樣品(pin)臺(tai)測溫傳感器(qi)

PT100型熱電阻

樣品(pin)臺溫(wen)度

室溫到400℃

室溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品(pin)臺升溫速率

高溫100℃/min 最大值(zhi)   低溫7℃/min

溫控(kong)儀

溫度顯(xian)示

7寸人機(ji)界面

溫(wen)控類型

標準PID溫控 +自(zi)整(zheng)定

溫(wen)度分辨(bian)率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號(hao)輸入類型

PT100 （可選(xuan)K  S  B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加(jia)熱(re)

直流線性電源(yuan)加熱+液氮(dan)流(liu)速控制(zhi)器

輔(fu)助功能

溫度數據采集并(bing)導(dao)出 實時(shi)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀(du)數接(jie)口

溫控器尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重(zhong)量

約5.6KG

探(tan)針

電(dian)信號接頭

配線(xian)轉接 BNC接頭   BNC三(san)同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米(mi)

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量(liang)

4探針（可擴(kuo)展5探針）

探(tan)針材(cai)質

鍍(du)金鎢針 （其他材質(zhi)可(ke)選(xuan)）

探(tan)針尖

10μm

手動探針移動平臺(tai)

X軸移動行(xing)程

20mm    ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需(xu)手動旋轉探針桿）

R軸控(kong)制精度

≥500μm

Z軸(zhou)移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動(dong)螺紋調節(jie)探針桿）