簡要描述:等(deng)離(li)子(zi)刻(ke)蝕機清(qing)洗(xi)(xi)機用于表(biao)面清(qing)洗(xi)(xi),活(huo)(huo)化,刻(ke)蝕電(dian)源(yuan)(yuan)屬(shu)于150W 13.56MHz的(de)射頻電(dian)源(yuan)(yuan)。作(zuo)為一種精密干(gan)法清(qing)洗(xi)(xi)設(she)備,主要應用于半導(dao)體、鍍膜工藝、PCB制(zhi)(zhi)程、PCB制(zhi)(zhi)程、元器(qi)件封裝前(qian)、COG前(qian)、真空電(dian)子(zi)、連接器(qi)和(he)繼電(dian)器(qi)等(deng)行業的(de)精密清(qing)洗(xi)(xi),塑料、橡(xiang)膠、金屬(shu)和(he)陶瓷等(deng)表(biao)面的(de)活(huo)(huo)化以及生命科學實驗等(deng)。,與動輒十幾萬美元的(de)大型產(chan)品相(xiang)比小型等(deng)離(li)子(zi)清(qing)洗(xi)(xi)機具有成本低廉、操(cao)作(zuo)靈活(huo)(huo)的(de)特點(dian)。
品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 化工,電子 |
一、應用領域:
等離子刻蝕機清洗機用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機電源屬于150W13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備,主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
二、等離子清洗的方式:
(1)常規的清洗(xi)(xi)方(fang)法不能*將材料表面(mian)薄(bo)膜去除,而會留(liu)下一層(ceng)很薄(bo)的雜質層(ceng),而且(qie)溶(rong)劑(ji)清洗(xi)(xi)就是這類典(dian)型(xing)例子。
(2)等離子清洗器使用就是通過等離子體對材料表面的轟擊,輕柔地和*地對表面擦洗。
(3)等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物,而且,等離子清洗不會在表面留下殘余物。
(4)等離子清洗器能夠處理多種類型材料:包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。
(5)等離子清洗器的優點在于它不但能清洗掉表面的污物,而且還能增強材料表面的粘附性能。
三、聚(ju)合物(wu)清(qing)洗原理介紹:
①聚合物的表面清洗
·等離子消融作用通過高能的(de)電(dian)子和離子對(dui)材料表(biao)面(mian)的(de)轟擊,機械地去(qu)除污(wu)物層。
·等離子表面清洗可去除(chu)可能存在于某些加工過的聚合(he)(he)物(wu)的污物(wu)層(ceng)(ceng),不需要的聚合(he)(he)物(wu)表面涂層(ceng)(ceng)和弱的邊界層(ceng)(ceng)。
②聚(ju)合物的表面(mian)重(zhong)組
·等離子消融作用中(zhong)使用的(de)惰性(xing)氣體(ti)(ti)破壞了聚合(he)物(wu)表(biao)面(mian)的(de)化學鍵從(cong)而導致聚合(he)物(wu)表(biao)面(mian)自由(you)官能團的(de)形成。
·聚(ju)(ju)合(he)物表面(mian)的自由官能(neng)團重新成(cheng)(cheng)鍵(jian)形成(cheng)(cheng)原始的聚(ju)(ju)合(he)物結構,也能(neng)與在相同的聚(ju)(ju)合(he)物鏈(lian)(lian)上(shang)鄰近(jin)的自由官能(neng)團成(cheng)(cheng)鍵(jian),或與在不同的聚(ju)(ju)合(he)物鏈(lian)(lian)上(shang)附近(jin)的自由官能(neng)團成(cheng)(cheng)鏈(lian)(lian)。
·聚合物表(biao)面結(jie)構(gou)重組能夠(gou)改進(jin)表(biao)面的硬(ying)度(du)和化學抗性。
③聚合物的(de)表面改性(xing)
·等離子消融作用破壞了聚合(he)(he)物表面的化學鍵(jian),從(cong)而導(dao)致聚合(he)(he)物表面自由官能團的形成(cheng)。
·基(ji)于等離子(zi)過程(cheng)氣體(ti)的(de)化(hua)(hua)學性質,這些表面自(zi)由(you)官能團與等離子(zi)中原子(zi)或化(hua)(hua)學基(ji)的(de)連接(jie)形成了新的(de)聚(ju)合物(wu)(wu)功(gong)能組(zu),代替舊的(de)表面聚(ju)合物(wu)(wu)功(gong)能組(zu)。
·聚(ju)合物表面改(gai)性能夠(gou)改(gai)變材料表面的化(hua)學性質(zhi),而材料整體性質(zhi)不(bu)會(hui)改(gai)變。
④聚合物的表面鍍(du)膜
·等離(li)(li)子(zi)鍍膜是(shi)通(tong)過過程氣體(ti)的聚合作用在材(cai)料基(ji)層表(biao)面形成一層薄的等離(li)(li)子(zi)涂層。
·如(ru)果(guo)被使用(yong)的生產氣體(ti)由復合(he)(he)(he)分子(zi)組成,如(ru):甲烷、四氟化(hua)物、碳(tan),那么他們在等離(li)子(zi)態將(jiang)破裂,形成自(zi)由的官(guan)(guan)能單體(ti),這些(xie)官(guan)(guan)能單體(ti)將(jiang)在聚合(he)(he)(he)物表面成鍵和重新化(hua)合(he)(he)(he)在聚合(he)(he)(he)物表面鍍(du)膜。
·這種聚合物(wu)表(biao)(biao)面涂層能明顯地改變表(biao)(biao)面的滲(shen)透性和磨擦性。
四、等離子刻蝕機清洗機鄭州科探儀器KT-S2DQX參數:
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作(zuo)電流不大于(yu)3.5A(不含真空(kong)泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質 | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內徑 | Φ65 |
氣體流量 | 10—100ml/min(其(qi)他量(liang)程可(ke)選) |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼(gang)網匣1個,電源(yuan)線一(yi)根(gen),說明(ming)書(shu)一(yi)本。 |
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