真空微型探針臺應用與半導體測試變 溫真(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)探針臺系(xi)統方案(an)：高低溫真(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)探針系(xi)統主要用于為被測(ce)芯(xin)片(pian)提供一(yi)個(ge)低溫或者高溫的變溫測(ce)量(liang)環境，以便測(ce)量(liang)分析溫度(du)變化時芯(xin)片(pian)性能參數的變化。腔(qiang)體內被測(ce)芯(xin)片(pian)在真(zhen)空(kong)(kong)環境中。

   精巧型真空腔體測試腔主(zhu)要(yao)用(yong)于氣體敏(min)感(gan)(gan)材(cai)料(liao)或其他對環境敏(min)感(gan)(gan)性材(cai)料(liao)中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼(gang)加熱(re)承載臺(tai)，臺(tai)面(mian)為φ30，臺面(mian)高可升(sheng)溫到高400℃。臺面四周裝有微(wei)型3軸可(ke)移動鎢鋼探針，特別(bie)適合微(wei)小未封裝的(de)叉指(zhi)電極等傳感器(qi)測試。

    真空微型探針臺應用與半導體測試 低(di)溫真(zhen)空探(tan)針(zhen)臺是一款(kuan)為晶片、器(qi)件(jian)和(he)材料(liao)(liao)(liao)（薄膜、納米、石墨(mo)烯、電(dian)(dian)子(zi)(zi)材料(liao)(liao)(liao)、超導材料(liao)(liao)(liao)、鐵電(dian)(dian)材料(liao)(liao)(liao)等(deng)）提供(gong)真(zhen)空和(he)低(di)溫測試條件(jian)下進行(xing)非破壞性的(de)(de)電(dian)(dian)學(xue)表征(zheng)和(he)測量(liang)平(ping)臺。CPS系(xi)列低(di)溫真(zhen)空探(tan)針(zhen)臺可以對材料(liao)(liao)(liao)或器(qi)件(jian)進行(xing)電(dian)(dian)學(xue)特(te)性測量(liang)、光電(dian)(dian)特(te)性測量(liang)、參數測量(liang)、高阻測量(liang)、DC測量(liang)、RF測量(liang)和(he)微波特(te)性測量(liang)，廣泛應(ying)用于(yu)半導體工業(ye)（芯片、晶圓片、封(feng)裝(zhuang)器(qi)件(jian)）、MEMS、超導、電(dian)(dian)子(zi)(zi)學(xue)、物理學(xue)和(he)材料(liao)(liao)(liao)學(xue)等(deng)領(ling)域。為了提高系(xi)統的(de)(de)實用性，系(xi)統還可以提供(gong)3.2K的(de)(de)溫度(du)擴展選(xuan)件(jian)、振動隔(ge)離(li)裝(zhuang)置、LN2杜(du)瓦(wa)、高放大倍數的(de)(de)顯微鏡、分(fen)子(zi)(zi)泵機組、熱輻射屏的(de)(de)溫度(du)控制裝(zhuang)置、探(tan)針(zhen)臂的(de)(de)光纖電(dian)(dian)纜、光學(xue)樣品架等(deng)選(xuan)件(jian)。