真空手動多功能微型探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號

      真空手動多功能微型探針臺真(zhen)空(kong)信(xin)(xin)號(hao)連(lian)接處(chu)使用高級真(zhen)空(kong)電(dian)極(ji)信(xin)(xin)號(hao)接頭(tou)，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將(jiang)需將(jiang)待檢(jian)測(ce)的器(qi)件方在(zai)加熱臺面，探(tan)針(zhen)尖處(chu)由3軸可移動(dong)探(tan)針(zhen)手(shou)動(dong)調節移動(dong)至被(bei)測(ce)試(shi)器(qi)件的引腳處(chu)，外部信(xin)(xin)號(hao)線連(lian)接測(ce)試(shi)儀器(qi)來測(ce)試(shi)電(dian)學信(xin)(xin)號(hao)。

* 溫度可(ke)控，可(ke)控精度<0.1℃

* 真(zhen)空度10-3至10-5Torr
* 防震動設計
* 測量范(fan)圍DC至(zhi)67 GHz
* 多可(ke)容納100毫(hao)米晶圓
* 可配置多達四(si)個(ge)微操縱探針臂（波紋(wen)管(guan)）
* 探針(zhen)座微操作器行(xing)程(cheng)±12mm
* 電纜線屏(ping)蔽、電氣噪聲(sheng)、熱(re)輻射損失(shi)降(jiang)到低

* 可(ke)預(yu)留不同(tong)尺寸接口(kou)以備充入其它氣體使用

* 可預留接口(kou)以備安裝電(dian)子閥及流量計之用

* 顯微鏡觀察系統(tong)可選

   目前公(gong)司已研發生產(chan)產(chan)品十多(duo)個系列幾十款(kuan)產(chan)品，產(chan)品囊(nang)括實(shi)驗(yan)電爐(lu)   CVD供氣(qi)系統   等離子清洗機   小型(xing)離子濺射儀 小型蒸鍍儀  石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

   公司與國內高校，科(ke)研院所有多(duo)層(ceng)次的(de)(de)合作(zuo)關(guan)系，建有開(kai)放實驗室(shi)，相關(guan)領(ling)域的(de)(de)教授、高級工程師、博士參與公司產(chan)品的(de)(de)研究(jiu)和(he)開(kai)發。我(wo)們秉承公司的(de)(de)發展(zhan)理念，依靠嚴謹的(de)(de)技術研發能力(li)，科(ke)學合理的(de)(de)生(sheng)產(chan)工藝，精(jing)益求精(jing)的(de)(de)制(zhi)造要求，全(quan)心(xin)全(quan)意做好產(chan)品質量和(he)服務工作(zuo)，科(ke)探(tan)儀器時刻懷著(zhu)一顆真誠的(de)(de)心(xin)期(qi)待與您的(de)(de)合作(zuo)。