1100℃  1500℃ 高溫真空探(tan)針臺(tai)溫度穩定(ding)±1℃

  樣品臺26x26mm 同時可用(yong)于光學(xue)測試電學(xue)測試

光(guang)學反射透窗距樣品間(jian)距9mm

可擴展透視窗透孔(kong)2mm

電學測試4探針 外接3同軸bnc

腔(qiang)體(ti)不(bu)銹(xiu)鋼材質 180x90x37mm上下面水冷

        該(gai)腔體設計有進氣口(kou)(kou)和抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)接(jie)(jie)(jie)口(kou)(kou)其(qi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度用(yong)機械泵(beng)可(ke)達＜5Pa分(fen)子泵(beng)可(ke)達＜-3Pa。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)信號連接(jie)(jie)(jie)處使用(yong)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)電(dian)極信號接(jie)(jie)(jie)頭，保證(zheng)氣密性(xing)及抗干(gan)擾性(xing)能。使用(yong)時(shi)將(jiang)需將(jiang)待檢(jian)測(ce)(ce)(ce)的(de)器件(jian)方在加熱臺面，探針(zhen)頂尖處由3軸可(ke)移動(dong)探針(zhen)手動(dong)調節移動(dong)至被測(ce)(ce)(ce)試器件(jian)的(de)引腳處，外部信號線(xian)連接(jie)(jie)(jie)測(ce)(ce)(ce)試儀器來測(ce)(ce)(ce)試電(dian)學信號。