高真空大型探針臺，采用304不銹鋼腔體，樣(yang)品(pin)臺溫度-196℃到(dao)400℃，觀察(cha)窗尺(chi)寸直徑70mm，

預(yu)算及(ji)產品(pin)品(pin)質一直(zhi)是困(kun)擾用戶的兩個難(nan)題。鄭(zheng)科探(tan)(tan)(tan)(tan)推(tui)出的KT-Z160T-RL大(da)型探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺具(ju)有探(tan)(tan)(tan)(tan)針臂精(jing)度(du)小于0.01mm，探(tan)(tan)(tan)(tan)針尖10μm，配有電(dian)子顯微鏡(jing)放大(da)倍數(shu)19-135倍。20升液氮可連(lian)續使用(yong)30個小時。價格相(xiang)對合理(li)。

因(yin)為晶(jing)(jing)圓在(zai)低溫大(da)氣(qi)環(huan)境測試(shi)(shi)時(shi)，空氣(qi)中(zhong)的(de)(de)水(shui)汽會凝(ning)結在(zai)晶(jing)(jing)圓上(shang)，會導致漏電(dian)過(guo)大(da)或者探針無法接(jie)觸電(dian)極而使測試(shi)(shi)失敗。避免這些(xie)需(xu)要把真(zhen)空腔內的(de)(de)水(shui)汽在(zai)測試(shi)(shi)前用泵抽走，并且保(bao)持(chi)整個測試(shi)(shi)過(guo)程泵的(de)(de)運(yun)轉。

高真空大型探針臺