腔體材(cai)質

304不銹鋼(gang)

上蓋開啟(qi)

鉸鏈側開

加(jia)熱臺材(cai)質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀(guan)察窗(chuang)尺寸

Φ70mm

加熱臺(tai)尺寸

φ60mm

觀察窗(chuang)熱臺間(jian)距

75mm

加熱(re)臺溫(wen)度

﹣196~350℃

加熱臺溫(wen)控誤差

±1℃

真(zhen)空度

機(ji)械(xie)泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣(qi)口

KF25真(zhen)空法(fa)蘭

氣體進氣口(kou)

3mm-6mm卡套(tao)接(jie)頭(tou)

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電(dian)學性能

絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

探針數量

4探(tan)針(zhen)

探針材(cai)質(zhi)

鎢針  

探針尖

10μm

探針(zhen)移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸(zhou)移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯(xian)微鏡

顯微(wei)鏡類(lei)別

物鏡

物鏡倍數(shu)

0.7-4.5倍

工作間距(ju)

90mm

相機

sony 高清

像(xiang)素

1920※1080像素

圖(tu)像接口

VGA

LED可調光源

有(you)

顯(xian)示(shi)屏

8寸

放(fang)大倍數(shu)

19-135倍,視場范(fan)圍(wei)15×13-2.25×1.7mm，最小可(ke)分辨0.08mm