類型

高溫(wen)型室溫(wen)到350℃

高低溫型 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材質(zhi)

304不(bu)銹鋼(gang) 6061鋁合(he)金 可選

腔體內尺(chi)寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸(cun)

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhi) 約1.5KG     鋁合金材(cai)質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸(cun)

Φ42mm（可選配凹(ao)視窗用于減少窗口(kou)和樣品之(zhi)間(jian)距離(li)）

腔體抽氣(qi)口(kou)

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔(qiang)體進氣口

6mm快擰 或(huo) 6mm快插

腔體冷卻(que)方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體(ti)水冷接口

腔(qiang)體正壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空(kong)度(du)

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣(yang)品臺材質

不銹鋼(gang) 銀銅合(he)金(jin) 純銀塊

銀(yin)銅合(he)金(jin) 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱(re)方式

電阻加熱

電(dian)阻加熱 液氮制冷

樣(yang)品臺(tai)-視窗 距離

11mm（可選(xuan)配凹視(shi)窗用于減少(shao)窗口和(he)樣品之間距(ju)離到6mm）

樣品臺測(ce)溫傳(chuan)感器(qi)

PT100型(xing)熱電阻

樣品臺溫度(du)

室溫到400℃

室(shi)溫(wen)到400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣(yang)品臺(tai)升溫速率

高(gao)溫100℃/min    低溫7℃/min

溫控(kong)儀

溫(wen)度(du)顯示

7寸(cun)人機界面

溫控(kong)類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分(fen)辨率

0.1℃

溫(wen)控(kong)精度

±0.5℃

溫(wen)度(du)信號(hao)輸入(ru)類型

PT100 （可(ke)選K  S  B型熱電偶）

溫(wen)控輸出

直(zhi)流線性電源加熱

直流線(xian)性(xing)電源(yuan)加熱+液(ye)氮流速控制(zhi)器

輔(fu)助功能(neng)

溫度數(shu)據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信(xin)號接頭

配線(xian)轉接(jie) BNC接頭   BNC三同軸接(jie)頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線(xian)長1.2米

電學性能

絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ     介質(zhi)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針(zhen)數(shu)量(liang)

4探針（可(ke)擴展(zhan)5探針）

探針材質

鍍金鎢針 （其他(ta)材質可(ke)選）

探針(zhen)尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移(yi)動(dong)行程

20mm    ±10mm（需手動推動滑(hua)臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需(xu)手動旋轉探針桿）

R軸控(kong)制精度

≥500μm

Z軸移動(dong)行程

2mm    ±1mm

Z軸控(kong)制精(jing)度

≤50μm（需手動螺紋(wen)調節探針(zhen)桿）