類型

加熱型350℃   或者加熱(re)制冷(leng)型 室溫到350℃ 室溫到-190℃

腔體材質

304不銹鋼

腔體內尺寸

φ90x40mm

腔體上視(shi)窗尺寸

Φ42mm（選(xuan)配(pei)凹(ao)視窗Φ22mm）

腔體抽氣口

KF16

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管接(jie)頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接(jie)頭可選(xuan)

腔體出氣(qi)口

公(gong)制3mm 6mm氣管接(jie)頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體(ti)(ti)正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空度

機械泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分(fen)子泵≤5E-3Pa（30分(fen)鐘）

樣品臺

樣(yang)品(pin)臺材質

304不銹(xiu)鋼(gang)

樣品臺尺寸

26X26mm

樣品臺-視(shi)窗 距(ju)離

30mm（可選凹(ao)視窗間距15mm）

樣品臺測溫傳感器

A    級(ji)PT100鉑(bo)電阻

樣(yang)品臺溫度

室溫到(dao)350℃（可選高(gao)低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）

樣品臺(tai)測溫誤差

±0.2℃

樣品臺變(bian)溫速率(lv)

高溫10℃/min   低溫5℃/min  最大(da)值

溫控儀(yi)

溫度(du)顯示(shi)

7寸人機界面

溫(wen)控類型

標準PID溫控 +自整(zheng)定（可選30段(duan)編(bian)程控溫）

溫度分辨率

0.1℃

溫控(kong)精度(du)

±0.5℃

溫(wen)度信號(hao)輸入類型(xing)

PT100熱電阻(zu) （可選 K    S  B型熱電偶）

溫控輸(shu)出

直(zhi)流(liu)線(xian)(xian)性電源加熱（液氮流(liu)量線(xian)(xian)性控制液氮制冷）

輔助功能(neng)

溫度數據采集并(bing)導出 實時溫度曲線(xian)+歷史溫(wen)度曲(qu)線

探針

電信號接頭(tou)

配線轉接(jie) BNC接(jie)頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流(liu)噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可定做6探針）

探(tan)針材質

鍍(du)金鎢(wu)針

探針尖(jian)

10μm

探針移動(dong)平臺

X軸移動(dong)行(xing)程(cheng)

12mm    ±6mm

X軸控制精度(du)

≤5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

≤5μm

Z軸移動(dong)行(xing)程

12mm    ±6mm

Z軸控(kong)制精度(du)

≤5μm

數(shu)碼顯(xian)微鏡

顯微鏡(jing)類(lei)別

物鏡放大+電子放大

顯微鏡(jing)放大(da)倍數

100倍

顯微(wei)鏡工作間距

50-150mm

相機分辨率

1080P  60幀(zhen)  

相機信(xin)號輸出

HDMI輸出(chu)+USB輸出

LED可調(diao)光源

LED光(guang)源

顯示屏

5寸 屏幕(mu)一(yi)體機