簡要描述:小型真(zhen)空探針臺(tai)高(gao)溫(wen)熱臺(tai)KT-0904T-R主要用(yong)于為被(bei)測芯(xin)片(pian)提供一個高(gao)溫(wen)的變溫(wen)測量環境,以便測量分析(xi)溫(wen)度(du)變化時芯(xin)片(pian)性能參數的變化。腔體(ti)內被(bei)測芯(xin)片(pian)在真(zhen)空環境中(zhong)有(you)效避免易受氧化半(ban)導體(ti)器件(jian)接(jie)觸空氣所帶(dai)來(lai)的測試結果誤差。
品牌 | 鄭科探 |
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小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R
高溫無氧化測(ce)試(shi):
當晶圓加(jia)熱至300℃,400℃,500℃甚(shen)至更高溫度(du)時,氧化(hua)現象會
越來越明顯(xian),并且(qie)溫度越高氧化越嚴重。過(guo)度氧化會(hui)導致(zhi)晶圓(yuan)電性誤
差,物(wu)理和機械形變。避免這些需要把(ba)真空腔內的氧氣在(zai)測試(shi)前用(yong)泵
抽走,并且保持整(zheng)個測(ce)(ce)試過程(cheng)(cheng)泵的(de)(de)運轉。晶圓測(ce)(ce)試過程(cheng)(cheng)中溫度(du)在低溫和高溫中變(bian)換,因為熱脹冷縮(suo)現象,定位好(hao)的(de)(de)探(tan)針(zhen)與器件電極間會有相(xiang)對(dui)位移(yi),這時需要針(zhen)座的(de)(de)重新定位,探(tan)針(zhen)座位于腔體外部,可以在不破壞真空(kong)度(du)的(de)(de)同(tong)時調整(zheng)探(tan)針(zhen)達到理想位置進(jin)行測(ce)(ce)量。我們也可以選(xuan)擇使用操作桿(gan)控(kong)制(zhi)的(de)(de)自動化針(zhen)座來調整(zheng)探(tan)針(zhen)的(de)(de)位置。
小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數
真(zhen)空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加(jia)熱制冷型(xing) 室溫(wen)到350℃ 室溫(wen)到-190℃ |
腔體材質 | 304不(bu)銹(xiu)鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸(cun) | Φ42mm(選配凹視窗(chuang)Φ22mm) |
腔體抽(chou)氣口 | KF16 |
腔體進(jin)氣(qi)口(kou) | 公制3mm 6mm氣管接頭(tou) 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體(ti)出氣口 | 公制3mm 6mm氣管(guan)接頭 英制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣管(guan)接(jie)頭可選 |
腔體(ti)正(zheng)壓 | ≤0.05MPa |
腔體(ti)真空度(du) | 機械(xie)泵≤5Pa (5分(fen)鐘) 分(fen)子泵(beng)≤5E-3Pa(30分鐘) |
樣(yang)品臺 | |
樣品臺材(cai)質 | 304不銹鋼 |
樣品(pin)臺尺(chi)寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離(li) | 30mm(可選凹視窗間距15mm) |
樣品臺測溫(wen)傳感(gan)器 | A 級PT100鉑電阻 |
樣品臺(tai)溫(wen)度 | 室溫到350℃(可選高低溫樣(yang)品臺 高溫350℃低(di)溫-190℃) |
樣(yang)品臺測溫誤差(cha) | ±0.2℃ |
樣品臺變溫速(su)率 | 高溫10℃/min 低(di)溫5℃/min 最大值 |
溫控(kong)儀 | |
溫度顯示 | 7寸(cun)人機界面(mian) |
溫控類型 | 標(biao)準PID溫控 +自整(zheng)定(可選30段編程控(kong)溫) |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類(lei)型 | PT100熱電阻(zu) (可選 K S B型熱電偶) |
溫控(kong)輸(shu)出 | 直流線性(xing)電源加(jia)熱(re)(液氮(dan)流量線性(xing)控制液氮(dan)制冷) |
輔助(zhu)功能 | 溫度數(shu)據采(cai)集并導(dao)出(chu) 實時(shi)溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探(tan)針(zhen) | |
電信號接頭 | 配(pei)線轉(zhuan)接 BNC接頭(tou) BNC三同軸(zhou)接頭 SMA 接(jie)頭 香蕉插頭 線長1.2米(mi) |
電(dian)學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓(ya) ≤200V 電流噪(zao)聲 ≤10pA |
探(tan)針數量 | 4探針(zhen)(可定做6探針) |
探(tan)針材(cai)質 | 鍍金鎢針 |
探針(zhen)尖 | 10μm |
探針移(yi)動平臺 | |
X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移(yi)動(dong)行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動(dong)行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精(jing)度 | ≤5μm |
數碼(ma)顯微鏡 | |
顯(xian)微鏡類別(bie) | 物鏡放大+電子(zi)放(fang)大 |
顯(xian)微鏡放(fang)大倍數(shu) | 100倍 |
顯微鏡(jing)工(gong)作(zuo)間距 | 50-150mm |
相機分辨率 | 1080P 60幀(zhen) |
相機(ji)信號輸出 | HDMI輸(shu)出+USB輸出 |
LED可調光(guang)源 | LED光源 |
顯示(shi)屏(ping) | 5寸 屏(ping)幕一體機 |
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