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小型真空探針臺高溫熱臺

簡要描述:小型真(zhen)空探針臺(tai)高(gao)溫(wen)熱臺(tai)KT-0904T-R主要用(yong)于為被(bei)測芯(xin)片(pian)提供一個高(gao)溫(wen)的變溫(wen)測量環境,以便測量分析(xi)溫(wen)度(du)變化時芯(xin)片(pian)性能參數的變化。腔體(ti)內被(bei)測芯(xin)片(pian)在真(zhen)空環境中(zhong)有(you)效避免易受氧化半(ban)導體(ti)器件(jian)接(jie)觸空氣所帶(dai)來(lai)的測試結果誤差。

  • 產(chan)品(pin)型號:KT-0904T-R
  • 廠商性(xing)質:生產廠家
  • 更新(xin)時間:2023-09-18
  • 訪  問  量:1000
詳細介紹
品牌鄭科探

小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R

高溫無氧化測(ce)試(shi):
當晶圓加(jia)熱至300,400,500甚(shen)至更高溫度(du)時,氧化(hua)現象會
越來越明顯(xian),并且(qie)溫度越高氧化越嚴重。過(guo)度氧化會(hui)導致(zhi)晶圓(yuan)電性誤
差,物(wu)理和機械形變。避免這些需要把(ba)真空腔內的氧氣在(zai)測試(shi)前用(yong)泵
抽走,并且保持整(zheng)個測(ce)(ce)試過程(cheng)(cheng)泵的(de)(de)運轉。晶圓測(ce)(ce)試過程(cheng)(cheng)中溫度(du)在低溫和高溫中變(bian)換,因為熱脹冷縮(suo)現象,定位好(hao)的(de)(de)探(tan)針(zhen)與器件電極間會有相(xiang)對(dui)位移(yi),這時需要針(zhen)座的(de)(de)重新定位,探(tan)針(zhen)座位于腔體外部,可以在不破壞真空(kong)度(du)的(de)(de)同(tong)時調整(zheng)探(tan)針(zhen)達到理想位置進(jin)行測(ce)(ce)量。我們也可以選(xuan)擇使用操作桿(gan)控(kong)制(zhi)的(de)(de)自動化針(zhen)座來調整(zheng)探(tan)針(zhen)的(de)(de)位置。



小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數


真(zhen)空腔體

類型

加熱型350   或者加(jia)熱制冷型(xing) 室溫(wen)到350 室溫(wen)到-190

腔體材質

304不(bu)銹(xiu)鋼

腔體內尺寸

φ90x40mm

腔體上視窗尺寸(cun)

Φ42mm(選配凹視窗(chuang)Φ22mm

腔體抽(chou)氣口

KF16

腔體進(jin)氣(qi)口(kou)

公制3mm 6mm氣管接頭(tou) 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體(ti)出氣口

公制3mm 6mm氣管(guan)接頭 英制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣管(guan)接(jie)頭可選

腔體(ti)正(zheng)壓

0.05MPa

腔體(ti)真空度(du)

機械(xie)泵≤5Pa 5分(fen)鐘)  分(fen)子泵(beng)≤5E-3Pa30分鐘)

樣(yang)品臺

樣品臺材(cai)質

304不銹鋼

樣品(pin)臺尺(chi)寸

26X26mm

樣品臺-視窗 距離(li)

30mm(可選凹視窗間距15mm

樣品臺測溫(wen)傳感(gan)器

A    PT100鉑電阻

樣品臺(tai)溫(wen)度

室溫到350℃(可選高低溫樣(yang)品臺 高溫350℃低(di)溫-190℃)

樣(yang)品臺測溫誤差(cha)

±0.2

樣品臺變溫速(su)率

高溫10/min   低(di)溫5/min  最大值

溫控(kong)儀

溫度顯示

7寸(cun)人機界面(mian)

溫控類型

標(biao)準PID溫控 +自整(zheng)定(可選30段編程控(kong)溫)

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類(lei)型

PT100熱電阻(zu) (可選 K    S  B型熱電偶)

溫控(kong)輸(shu)出

直流線性(xing)電源加(jia)熱(re)(液氮(dan)流量線性(xing)控制液氮(dan)制冷)

輔助(zhu)功能

溫度數(shu)據采(cai)集并導(dao)出(chu) 實時(shi)溫度曲線+歷史溫度曲線

探(tan)針(zhen)

電信號接頭

配(pei)線轉(zhuan)接 BNC接頭(tou) BNC三同軸(zhou)接頭 SMA 接(jie)頭 香蕉插頭 線長1.2米(mi)

電(dian)學性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質耐壓(ya) 200V    電流噪(zao)聲 10pA

探(tan)針數量

4探針(zhen)(可定做6探針)

探(tan)針材(cai)質

鍍金鎢針

探針(zhen)尖

10μm

探針移(yi)動平臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控制精度

5μm

Y軸移(yi)動(dong)行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

5μm

Z軸移動(dong)行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精(jing)度

5μm

數碼(ma)顯微鏡

顯(xian)微鏡類別(bie)

物鏡放大+電子(zi)放(fang)大

顯(xian)微鏡放(fang)大倍數(shu)

100

顯微鏡(jing)工(gong)作(zuo)間距

50-150mm

相機分辨率

1080P  60幀(zhen)  

相機(ji)信號輸出

HDMI輸(shu)出+USB輸出

LED可調光(guang)源

LED光源

顯示(shi)屏(ping)

5 屏(ping)幕一體機


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