類(lei)型

加熱型350℃   或者加熱(re)制冷(leng)型 室溫(wen)到350℃ 室溫(wen)到(dao)-190℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼(gang)

腔體(ti)內尺(chi)寸

φ90x40mm

腔體(ti)上視窗(chuang)尺寸

Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

腔體抽(chou)氣口(kou)

KF16

腔體(ti)進氣口

公制3mm 6mm氣(qi)管接頭 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan)

腔(qiang)體(ti)出氣口(kou)

公制3mm 6mm氣管接頭(tou) 英制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan)

腔(qiang)體(ti)正壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度(du)

機械(xie)泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分(fen)子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺(tai)

樣品臺材質

304不銹(xiu)鋼(gang)

樣品臺尺寸

26X26mm

樣品臺-視窗 距離

30mm（可(ke)選凹(ao)視窗間距15mm）

樣品臺測(ce)溫(wen)傳感器

A    級PT100鉑電(dian)阻

樣品臺溫度

室溫到350℃（可(ke)選(xuan)高(gao)低(di)溫樣(yang)品臺 高溫350℃低(di)溫-190℃）

樣品臺測溫誤差

±0.2℃

樣品臺變溫速率

高溫10℃/min   低(di)溫(wen)5℃/min  最大值(zhi)

溫控儀(yi)

溫(wen)度顯示

7寸人機界面

溫控(kong)類型

標準PID溫控 +自整定（可選30段編(bian)程控溫）

溫度分(fen)辨率

0.1℃

溫(wen)控精度

±0.5℃

溫度信號(hao)輸入類(lei)型

PT100熱電阻 （可選 K    S  B型熱電偶）

溫控(kong)輸(shu)出

直流線性(xing)電源加熱(re)（液氮(dan)流量線性(xing)控制液氮(dan)制冷）

輔助功能

溫度(du)數(shu)據采集并導出 實(shi)時(shi)溫(wen)度曲(qu)線(xian)+歷史溫度曲(qu)線

探針

電信(xin)號接頭(tou)

配線(xian)轉接 BNC接頭 BNC三同軸接(jie)頭 SMA 接(jie)頭(tou) 香蕉插頭(tou) 線(xian)長1.2米

電(dian)學性能(neng)

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介(jie)質耐壓 ≤200V    電(dian)流噪聲 ≤10pA

探(tan)針數(shu)量

4探針（可(ke)定(ding)做6探(tan)針）

探(tan)針材質(zhi)

鍍金鎢(wu)針

探針尖

10μm

探針(zhen)移(yi)動(dong)平(ping)臺(tai)

X軸移(yi)動(dong)行程

12mm    ±6mm

X軸(zhou)控(kong)制精度(du)

≤5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

≤5μm

Z軸移動行程(cheng)

12mm    ±6mm

Z軸(zhou)控制精度(du)

≤5μm

數碼顯微鏡

顯微鏡(jing)類別

物鏡放大(da)+電子放大

顯(xian)微鏡放大倍數(shu)

100倍

顯微鏡工作間(jian)距(ju)

50-150mm

相機分辨率

1080P  60幀  

相機信號(hao)輸出

HDMI輸出+USB輸出

LED可調光源

LED光源

顯示(shi)屏(ping)

5寸(cun) 屏(ping)幕一體機