類型

加熱(re)型(xing)350℃     或者(zhe)加熱制冷型(xing)  室(shi)溫到350℃ 室(shi)溫(wen)到(dao)-190℃

腔(qiang)體材質(zhi)

304不(bu)銹鋼

腔(qiang)體內尺寸

φ90x40mm

腔體(ti)上視窗尺(chi)寸

Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

腔體(ti)(ti)抽(chou)氣口

KF16

腔(qiang)體進氣口

公制3mm 6mm氣管(guan)接(jie)頭 英制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣管接(jie)頭(tou)可選

腔(qiang)體出氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可(ke)選

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵(beng)≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘(zhong)）

樣品臺

樣(yang)品臺(tai)材(cai)質

304不銹鋼

樣品臺尺寸

26X26mm

樣(yang)品臺-視(shi)窗(chuang) 距(ju)離

30mm（可選凹視窗(chuang)間(jian)距15mm）

樣品臺測溫傳感器

A         級PT100鉑電阻

樣品(pin)臺溫度

室溫到350℃（可選高低溫(wen)樣品臺(tai) 高溫350℃低溫(wen)-190℃）

樣品臺(tai)測溫誤差

±0.2℃

樣品臺變溫速率

高溫10℃/min    低溫5℃/min  最大值

溫控儀

溫度(du)顯示

7寸人(ren)機界面

溫(wen)控類型(xing)

標(biao)準PID溫控 +自整定(ding)（可選(xuan)30段編程控溫）

溫度分辨率

0.1℃

溫(wen)控(kong)精度

±0.5℃

溫度信(xin)號輸入類型

PT100熱(re)電阻 （可(ke)選(xuan) K    S  B型熱電偶）

溫控(kong)輸出

直流線性(xing)電源加熱（液氮流量線性(xing)控制液氮制冷）

輔助功能

溫(wen)度數(shu)據采集并導出  實時溫度曲線+歷史溫度曲線

探(tan)針

電信號接(jie)頭

配(pei)線(xian)轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭(tou)  SMA 接頭(tou)  香(xiang)蕉插頭(tou)  線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流(liu)噪聲(sheng) ≤10pA

探針(zhen)數(shu)量(liang)

4探針（可定做6探針）

探針材(cai)質(zhi)

鍍金鎢針

探針(zhen)尖

10μm

探針移(yi)動平(ping)臺(tai)

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控制精(jing)度(du)

≤5μm

Y軸移動行程(cheng)

12mm    ±6mm

Y軸控制(zhi)精度

≤5μm

Z軸移動行程

12mm    ±6mm

Z軸控(kong)制精度

≤5μm

數碼顯微鏡

顯微(wei)鏡類別

物鏡放大(da)+電子放大

顯微鏡放大倍數

100倍

顯微鏡工作間距

50-150mm

相機分辨率

1080P  60幀(zhen)   

相機信號輸出

HDMI輸出+USB輸出

LED可(ke)調光源

LED光源

顯示屏

5寸 屏(ping)幕一體機