類(lei)型

高溫型(xing)室溫到(dao)350℃

高低(di)溫型 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼(gang) 6061鋁合金 可選

腔體內(nei)尺(chi)寸

127mmX57mmX20mm

腔(qiang)體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁合金材質 約(yue)0.5KG

腔體上(shang)視(shi)窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視(shi)窗(chuang)用(yong)于減少窗(chuang)口和樣品之間距離）

腔體抽(chou)氣口

KF16法(fa)蘭（其余接口規格可轉接）

腔體真(zhen)空測量口

KF16法(fa)蘭（其余接口規(gui)格可轉接）

腔體(ti)進(jin)氣口(kou)

6mm快(kuai)擰 或 6mm快(kuai)插(cha)

腔體冷卻方式

腔體(ti)(ti)水冷+上蓋(gai)氣冷

腔體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真(zhen)空度(du)

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子(zi)泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣(yang)品臺(tai)材質

不(bu)銹鋼(gang) 銀銅合(he)金 純銀塊

銀銅合金(jin) 純銀塊

樣品臺(tai)尺寸

26x26mm

樣品臺加(jia)熱(re)方式

電阻加熱(re)

電阻加熱 液(ye)氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視(shi)窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器(qi)

PT100型熱電阻(zu)

樣品臺溫度

室(shi)溫(wen)到400℃

室溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫(wen)誤差

±0.5℃

樣品臺升溫(wen)速率

高(gao)溫100℃/min 最大(da)值(zhi)   低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸(cun)人(ren)機界(jie)面

溫控類(lei)型

標準PID溫控 +自整(zheng)定

溫(wen)度分(fen)辨率(lv)

0.1℃

溫(wen)控精度

±0.5℃

溫度信(xin)號輸(shu)入類型(xing)

PT100 （可(ke)選K  S  B型熱電偶）

溫控輸出

直流線(xian)性(xing)電源加(jia)熱

直流線性電源加(jia)熱(re)+液氮流(liu)速(su)控制器

輔助(zhu)功能

溫度(du)數據采集(ji)并導出 實時溫度曲(qu)線(xian)+歷(li)史(shi)溫(wen)度曲線 可擴展真空讀數(shu)接口

溫控(kong)器尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重(zhong)量(liang)

約(yue)5.6KG

探(tan)針

電信號接頭

配線轉(zhuan)接 BNC接頭(tou)   BNC三同軸(zhou)接頭  SMA 接頭 香(xiang)蕉插頭(tou) 線長1.2米

電學性能(neng)

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針(zhen)數(shu)量

4探(tan)針（可擴(kuo)展5探針）

探(tan)針(zhen)材(cai)質

鍍金(jin)鎢針 （其他材質可選(xuan)）

探針(zhen)尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手(shou)動推動滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程(cheng)

120°    ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸控制(zhi)精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動螺紋調節探(tan)針桿）