實驗室微型四探針真空探針臺主(zhu)要應用(yong)于(yu)傳感器(qi)，半導體，光電(dian)，集成電(dian)路以及封裝的測試(shi)。 廣泛應用(yong)于(yu)復雜、高速(su)器(qi)件的精密(mi)電(dian)氣測量(liang)的研發，旨在確保質量(liang)及可(ke)靠(kao)性，并縮減研發時(shi)間和器(qi)件制造工藝的成本。

   該實驗(yan)室微型四探針真空(kong)探針臺(tai)的(de)承載(zai)臺為(wei)60x60不(bu)銹鋼臺面，臺面最高可(ke)升(sheng)溫(wen)到最高350℃。真空腔體設計有進氣口(kou)和抽真空接(jie)口(kou)。探針(zhen)臂為(wei)X/Y/Z三(san)軸移(yi)動，三(san)個方向均可(ke)在(zai)真空環境下精密移(yi)位(wei)調節(jie)(jie)，其中(zhong)X方向調節(jie)(jie)范(fan)圍：0－30mm；y方向調節(jie)(jie)范(fan)圍：0－20mm；z方向調節(jie)(jie)范(fan)圍：0－20mm；用(yong)戶可(ke)根據需要自行(xing)調節(jie)(jie)。使用(yong)時將需檢測(ce)的(de)器件(jian)固定在(zai)加(jia)熱(re)臺上(shang)，再微調探針(zhen)支架X/Y/Z 方向行(xing)程，通(tong)過顯(xian)微鏡觀察，使探針(zhen)對(dui)準檢測(ce)點(dian)后，即可(ke)進行(xing)檢測(ce)