腔(qiang)體(ti)材質

304不(bu)銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

內腔體尺寸

φ140x180

加熱臺材質

304不銹鋼(gang)

觀察窗尺寸

φ75

加熱臺尺(chi)寸

50x50

加(jia)熱(re)臺溫(wen)度

室溫-350℃可調

加熱臺溫(wen)控(kong)誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣(qi)體(ti)進氣(qi)口

3mm-6mm卡套接頭

進氣閥門

高(gao)精(jing)密針閥

抽(chou)氣閥門(men)

KF25真空擋板閥

壓力(li)表

機械(xie)壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極

4個

探針數量

4個

探針(zhen)材質

φ1.5鎢針   其他材質可(ke)選(xuan)

探針移動平臺(tai)

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM

Y軸移動行程(cheng)

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM

Z軸(zhou)移(yi)動行程(cheng)

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM

信號電極(ji)

電極(ji)芯(xin)

1芯

電極(ji)引出接頭

BNC母頭

電極(ji)引出線(xian)

銅網信號屏(ping)蔽線

BNC引出接(jie)頭(tou)

X4

額定電(dian)流

≤5A

額(e)定電壓

≤220V

電(dian)極芯(xin)直徑(jing)

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼(ke)接地

是

電子顯微(wei)鏡

電子顯微鏡(jing)根據客(ke)(ke)戶需要配置不同(tong)倍率 請和(he)客(ke)(ke)服溝(gou)通(tong)