腔(qiang)體(ti)材質

304不銹鋼(gang)

上蓋(gai)開(kai)啟(qi)

鉸鏈側開

內(nei)腔體尺寸

φ140x180

加(jia)熱臺材質

304不銹鋼

觀(guan)察(cha)窗尺寸

φ75

加(jia)熱臺尺寸

50x50

加熱臺(tai)溫(wen)度(du)

室溫-350℃可調

加熱臺溫控誤差

±1℃

真(zhen)空度

機械泵≤10Pa   分(fen)子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣(qi)體(ti)進氣(qi)口

3mm-6mm卡套接頭

進氣閥門

高精密(mi)針閥

抽氣閥門

KF25真空(kong)擋板閥

壓(ya)力表

機(ji)械(xie)壓力表(biao) -0.1-0.15mpa

信號電極

4個

探針數量

4個

探(tan)針(zhen)材質

φ1.5鎢(wu)針   其他材質可選

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸(zhou)控制精度

≤0.1MM

Y軸移動行(xing)程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM

Z軸移動行程

13mm   ±6.5mm

Z軸(zhou)控制精(jing)度(du)

≤0.05MM

信號電極

電極(ji)芯

1芯

電極引(yin)出(chu)接頭

BNC母頭

電(dian)極引出線

銅網信號屏蔽線

BNC引(yin)出接頭(tou)

X4

額(e)定電流(liu)

≤5A

額定(ding)電壓(ya)

≤220V

電極芯直徑(jing)

φ1mm

接觸電阻(zu)

≤5MΩ

絕緣電(dian)阻(zu)

≥1000 MΩ

外殼(ke)接地

是(shi)

電子顯微鏡

電子顯(xian)微鏡根據(ju)客戶需要(yao)配置不同倍率 請和客服溝通