液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫(xie)(xie)為(wei)MFM)用(yong)(yong)于對氣體(ti)的質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)進(jin)行精(jing)密測量(liang)；質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制器(Mass Flow Controller縮寫(xie)(xie)為(wei)MFC)用(yong)(yong)于對氣體(ti)的質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)進(jin)行精(jing)密測量(liang)和控制。

   它們在(zai)半導體微電子工(gong)(gong)業、特種材料研(yan)制、化學工(gong)(gong)業、石油工(gong)(gong)業、醫藥、環保和真(zhen)空等(deng)多種領域的(de)科研(yan)和生(sheng)產中有(you)著重(zhong)要的(de)應用。其典型的(de)應用場合包括； 電子工(gong)(gong)藝設備(bei)，如擴散(san)、氧(yang)化、外延、CVD、等(deng)離子刻蝕、濺射(she)、離子注(zhu)入；以及(ji)真(zhen)空鍍(du)膜設備(bei)、光纖熔煉(lian)、微反(fan)應裝置、混氣配氣系(xi)統、毛細管(guan)測量(liang)、氣相(xiang)色譜(pu)儀(yi)及(ji)其它分析儀(yi)器。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質量流量計(MFM)用于對氣體的質量流量進行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括： 集成電路工 藝設備，如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機； 以及鍍膜設備、 光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型(xing)(xing)(xing) MFC/ MFM 是七星電(dian)子生產的(de)(de)數(shu)字(zi)型(xing)(xing)(xing)產品，為氣體(ti)質量流量的(de)(de)控制、 測量提(ti)(ti)(ti)供(gong)了(le)高準確度及(ji)高可靠性。該型(xing)(xing)(xing)產品可同(tong)時支(zhi)持數(shu)字(zi)信(xin)號，0~5V 模擬信(xin)號，4~20mA 或(huo) 0~20mA 模擬信(xin)號，可以使(shi)用雙電(dian)源(±8~±16 VDC)或(huo)單電(dian)源(+14~+28 VDC)。支(zhi)持自動故障報警，多氣體(ti)多量程等功能。標準開放的(de)(de)通訊(xun)協議為客(ke)戶(hu)自行開發(fa)控制、采集軟件 提(ti)(ti)(ti)供(gong)便利。提(ti)(ti)(ti)供(gong)功能強大的(de)(de)免費(fei)客(ke)戶(hu)端上(shang)位(wei)機(ji)軟件 Digital MFC。CS200-C 與(yu) CS200-D 產品所有與(yu)氣體(ti)接觸的(de)(de)表面(mian)均為不銹鋼金屬(shu)，其中 CS200-C 金屬(shu)表面(mian)符合 SEMI 標準的(de)(de)要求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 電壓控制。

更多細節請參考(kao)產品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通訊協議"。

標定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按(an)照用戶的要(yao)求來標定。如果用戶沒有說明工作(zuo)情況等信(xin)息，

則按照標(biao)(biao)準狀況標(biao)(biao)定。

1、標準狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示，質量流量單位為：

SCCM：標準毫升/分鐘
SLM：標準升/分鐘
標準狀態：溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數，所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
MFC/MFM 的標準安裝位置為水平安裝，同時為客戶提供垂直(進氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝，為保證的測量精度，用戶購買時應該說明設備的安裝方式。

2、制造環境

CS200-A,C,D 型(xing) MFC/ MFM 是(shi)在溫度為 22±2°C的 100 級(ji)的凈化(hua)間內組裝，1000 級(ji)凈化(hua)環境下標定及(ji)包裝。

3、精度調節
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應的標定臺上烤機 24 小時，然后進行精確標定。精度、動態響應、壓力變化的穩定性等指標須經過兩次檢查,合格后方可出廠