鄭科探6寸氣(qi)浮手動探針臺(tai)(tai)，全新設(she)計(ji)優化，新增樣(yang)品保護功能（針座平(ping)(ping)臺(tai)(tai)不抬升，探針不脫離(li)，氣(qi)動快速移(yi)動無法使用，保護樣(yang)品因操作不當造成損傷）；顯微(wei)鏡龍(long)門XY平(ping)(ping)移(yi)臺(tai)(tai)同軸微(wei)調，顯著弱小平(ping)(ping)移(yi)臺(tai)(tai)空(kong)間(jian)體積。

晶圓(yuan)探(tan)針(zhen)臺(tai)是(shi)一種(zhong)半導(dao)體(ti)測(ce)(ce)試(shi)設(she)備(bei)，主要用于測(ce)(ce)試(shi)半導(dao)體(ti)晶圓(yuan)上芯(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)學性(xing)(xing)能。晶圓(yuan)探(tan)針(zhen)臺(tai)通常由(you)(you)機(ji)(ji)械(xie)部(bu)(bu)分和電(dian)(dian)(dian)子(zi)部(bu)(bu)分組成。機(ji)(ji)械(xie)部(bu)(bu)分由(you)(you)一個精(jing)密機(ji)(ji)械(xie)結(jie)(jie)構、探(tan)針(zhen)、微(wei)動系(xi)統、信(xin)(xin)(xin)號線等組成，用來精(jing)確定位(wei)和接(jie)(jie)觸芯(xin)片(pian)(pian)，保證測(ce)(ce)試(shi)結(jie)(jie)果的(de)(de)準確性(xing)(xing)和可靠性(xing)(xing)。電(dian)(dian)(dian)子(zi)部(bu)(bu)分由(you)(you)信(xin)(xin)(xin)號發生(sheng)器(qi)、示波器(qi)、測(ce)(ce)量儀等測(ce)(ce)試(shi)設(she)備(bei)和控制程(cheng)序(xu)、數據處理(li)等軟件(jian)組成，負責信(xin)(xin)(xin)號采集(ji)、處理(li)和數據分析。晶圓(yuan)探(tan)針(zhen)臺(tai)的(de)(de)運行原理(li)是(shi)先用機(ji)(ji)械(xie)結(jie)(jie)構精(jing)確定位(wei)和接(jie)(jie)觸芯(xin)片(pian)(pian)，在(zai)信(xin)(xin)(xin)號發生(sheng)器(qi)的(de)(de)控制下，向芯(xin)片(pian)(pian)中(zhong)注入一定的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)信(xin)(xin)(xin)號，再通過示波器(qi)、測(ce)(ce)量儀等測(ce)(ce)試(shi)設(she)備(bei)，測(ce)(ce)量芯(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)各(ge)種(zhong)電(dian)(dian)(dian)學參數，如(ru)電(dian)(dian)(dian)阻、電(dian)(dian)(dian)容、電(dian)(dian)(dian)感等，評估芯(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)性(xing)(xing)能和質量。

晶(jing)圓探針臺(tai)(tai)在(zai)半導(dao)體制造(zao)和研發(fa)中有著非常重要的(de)地位(wei)，可以(yi)大(da)(da)(da)大(da)(da)(da)提高芯片(pian)測(ce)(ce)(ce)試的(de)效率(lv)(lv)和準確性。不同型號(hao)的(de)晶(jing)圓探針臺(tai)(tai)適用于不同的(de)測(ce)(ce)(ce)試需(xu)求，從小(xiao)尺寸(cun)、低功耗芯片(pian)到高速、高功率(lv)(lv)芯片(pian)等范圍都有涉及。其中一些(xie)晶(jing)圓探針臺(tai)(tai)還具備自動化控制和多樣化測(ce)(ce)(ce)試能(neng)力，可以(yi)實現高精度測(ce)(ce)(ce)試和大(da)(da)(da)規(gui)模生產(chan)。