類型

高溫(wen)型(xing)室溫(wen)到400℃

高低(di)溫型 室溫到400℃    室溫到-196℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼(gang) 6061鋁合金(jin) 可選(xuan)

腔體內(nei)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不(bu)銹(xiu)鋼材(cai)質 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視(shi)窗尺(chi)寸

Φ42mm（可(ke)選配凹視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和樣品之間(jian)距離）

腔體(ti)抽氣(qi)口

KF16法蘭（其余(yu)接(jie)口規格可轉接(jie)）

腔(qiang)體(ti)(ti)真空測量(liang)口

KF16法蘭（其余接(jie)口(kou)規格可(ke)轉接(jie)）

腔體進(jin)氣口

6mm快(kuai)擰 或(huo) 6mm快插

腔體冷卻方(fang)式

腔(qiang)體水(shui)冷+上(shang)蓋氣冷

腔體水冷接(jie)口

腔體正(zheng)壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵(beng)≤5Pa （5分(fen)鐘）  分(fen)子泵(beng)≤5E-3Pa（30分(fen)鐘）

樣品臺

樣(yang)品(pin)臺材質

不銹鋼 銀銅(tong)合(he)金 純銀塊(kuai)

銀銅合金 純銀塊(kuai)

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮(dan)制冷(leng)

樣品(pin)臺-視窗(chuang) 距離

11mm（可選配凹(ao)視窗(chuang)用(yong)于(yu)減(jian)少窗(chuang)口和樣品之間(jian)距離到6mm）

樣品(pin)臺測(ce)溫傳感器

PT100型熱(re)電阻

樣品臺溫(wen)度

室溫到400℃

室(shi)溫到400℃  室(shi)溫到-196℃

樣品臺(tai)測溫誤差

±0.5℃

樣(yang)品臺升溫速(su)率(lv)

高溫100℃/min 最大值     低溫7℃/min

溫控儀(yi)

溫度(du)顯示(shi)

7寸人機界面

溫(wen)控類(lei)型

標準(zhun)PID溫(wen)控 +自(zi)整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100   （可(ke)選K  S  B型熱電(dian)偶）

溫控輸(shu)出(chu)

直(zhi)流(liu)線性(xing)電源加(jia)熱

直(zhi)流線(xian)性電源(yuan)加熱(re)+液氮(dan)流速控制器

輔助(zhu)功能

溫(wen)度數據采集(ji)并導(dao)出 實時(shi)溫(wen)度曲(qu)線+歷史溫(wen)度曲(qu)線 可擴展真空(kong)讀數接口

溫(wen)控器尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫控(kong)器重(zhong)量

約5.6KG

探(tan)針

電(dian)信號接(jie)頭

配線轉接 BNC接頭(tou)   BNC三同軸接頭(tou)  SMA 接頭(tou) 香蕉插頭(tou) 線長1.2米

電學性能(neng)

絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電(dian)流噪聲 ≤10pA

探(tan)針數(shu)量

4探針（可(ke)擴(kuo)展5探針）

探針(zhen)材質

鍍(du)金(jin)鎢針 （其(qi)他(ta)材質(zhi)可(ke)選）

探針尖

10μm

手動(dong)探針移動(dong)平臺

X軸移動行(xing)程

20mm      ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸(zhou)控制(zhi)精度

≥500μm

R軸移動行程

120°      ±60°（需手動旋(xuan)轉探針桿(gan)）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移(yi)動行程(cheng)

2mm      ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動(dong)螺(luo)紋調節探針桿）